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MEMS麦克风的阵列处理系统国内外研究现状

时间:2022-01-18 22:05来源:毕业论文
MEMS技术是典型的多学科交叉的前沿性研究领域,几乎涉及了自然及工程科学的所有领域,如电子技术、机械技术、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等[3]。MEMS技术便是以

MEMS技术是典型的多学科交叉的前沿性研究领域,几乎涉及了自然及工程科学的所有领域,如电子技术、机械技术、物理学、化学生物医学、材料科学、能源科学等[3]。MEMS技术便是以传统的半导体工艺和材料为基础,在芯片上制造出微米级的微型机械,并将其与对应的电路集成为一体,既可面向常规的或者特殊的功能需求,又可研究开发出在原理、功能、应用方面具有创新性的系统和元件。在当前的MEMS技术可控制的操作范围内,已经出现宏观的理论难以解释和预测的物理现象,我们称之为尺度效应。因此,对微观下的动力学、流体力学、热力学、摩擦学等学科进行基础性的研究,对MEMS技术的发展有极大的促进。77155

MEMS麦克风是发展中的的技术,其未来发展趋势主要有[4]:

1)数字输出:可以提高对RF噪声的抗干扰性能;

2)高信噪比(SNR)和高可靠性;

3)麦克风阵列:得益于可控、稳定的压电工艺,MEMS麦克风一致性高,组成阵列后能够应用于噪声抑制、回声抵消、语音增强、实现指向性麦克风等。随着网络电话等应用的普及,MEMS麦克风阵列越来越广泛地应用于智能手机、笔记本电脑等产品中。但是大规模MEMS麦克风阵列并未获得推广,论文网主要原因是过多的麦克风难以匹配。为了实现高性能麦克风阵列,各个麦克风必须在灵敏度和相位方面高度匹配。同时,灵敏度和相位也必须是随时间保持稳定的,不受环境条件变化的影响,且抗污染。

4)单芯片集成:MEMS传感器和ASIC(专用集成电路)芯片进一步集成,追求尺寸更小,性能更佳。

MEMS麦克风的阵列处理系统国内外研究现状:http://www.youerw.com/yanjiu/lunwen_88643.html
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