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大口径光学平面检测的研究现状(2)

时间:2022-07-02 20:43来源:毕业论文
高辉[13]通过理论和实践,对等厚干涉仪如何测量平晶平面度这一方面进行了分析研究。首先,他对干涉仪的结构和光路进行了相关分析,在确定了干涉仪的

高辉[13]通过理论和实践,对等厚干涉仪如何测量平晶平面度这一方面进行了分析研究。首先,他对干涉仪的结构和光路进行了相关分析,在确定了干涉仪的改造可行性后,对干涉仪进行了以下改造:加装了激光器、相机、标准平晶支架等,然后对收集的干涉条纹图像进行滤波、细化等处理,并对被测平面镜的平面度进行计算,并对等厚干涉仪对长平面镜的拼接检测方法进行研究,最后对使用改造的干涉仪测试的误差进行进一步的研究分析。经过计算、实验验证,高辉改造的干涉仪能偶满足对Φ100mm以下的二级平面镜和210mm、310mm的长平面镜的检测要求。

为了测量口径1。5m的平面镜的面形精度,朱硕[14]搭建了一个瑞奇-康芒检测的光路,在其光路中,使用了一个口径1。8m,曲率半径15m的标准球面镜。通过测量得到的俩角度的测试波前数据,分析并计算平面镜的面形误差。得到的平面镜的面形结果:峰谷值PV =0。391λ(λ=0。6328μm),均方根误差RMS值为 0。0181λ(λ=0。6328μm),并给出了平面镜面形的误差情况。最终,朱硕用瑞奇-康芒法完成了对1。5m口径的平面镜面形的检测工作,从而实现了大口径平面镜的高精度检测。

袁吕军、邢娜[15]提到:通常有两种干涉检测方法可以实现高精度的大口径平面镜的检测:第一种,直接检测法,但大口径平面镜的检测受到实际制作工艺的限制。直接检测法所采用的干涉仪口径至少要与被测平面的口径相同。而目前,国内的最大的平面干涉仪的检测口径为800mm,也就是说,如果被测平面的口径大于800mm,那么干涉仪的制作难度和成本都会很高;第二种:瑞奇-康芒检测法,被测平面的口径可以很大,并且其检测成本相比于其他方法来说,有所降低。瑞奇-康芒法是一种使用频率较高又行之有效的方法。采用瑞奇-康芒检测法,可以用小口径的干涉仪对大口径光学平面进行检测,从而降低成本。

大口径光学平面检测的研究现状(2):http://www.youerw.com/yanjiu/lunwen_95815.html
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