膜基界面结合强度是影响涂层刀具性能的重要因素。除了可以选择匹配的材料外，亦可在镀膜工艺中采取以下方法改善TiAlN膜层的膜基结合强度。如：成膜前预溅射清洗以去除杂质；成膜时高能粒子的轰击可增强膜基间组分的相互扩散，增强表面膜原子反应活性，从而减少缺陷；引入如Ti、TiAl等过渡层[5,7]，由于过渡层和基体以及和膜层之间的结合力高于膜基，因此过渡层有增加TiAlN镀层临界载荷的作用，过渡层的厚度对膜基结合强度的影响较为明显[5,6]。过镀层增厚会导致其被剪断几率增大，并将缓慢降低临界载荷。使用自动划痕仪可测量薄膜和基体之间的结合强度。
电弧离子镀TiAlN硬质薄膜的制备及性能研究(3):http://www.youerw.com/cailiao/lunwen_106831.html