（3）与以上两个方法区别最大的就是滑舟法，用这个方法进行外延生长时，在 生长过程中我们是要在滑动石墨舟里面进行，而且这个滑动石墨舟必须有多个溶液 槽，这个就滑舟法[8]。

在液相外延生长过程中最关键的一个过程就是对溶液进行冷却，就目前来说，我 们常用的冷却方法主要有四种，分别是两相法、突冷法、平衡法和过冷法。

液相外延生长的薄层材料和衬底材料的成分会出现两种情况，有时生长出的薄层 成分会和衬底的成分不一样，这样的外延就叫做异质外延，相反，当两者的成分一样 时我们就称之为同质外延。

液相外延法得以频繁的使用是因为它具有很多优点，例如：（1）生长使用的掺 杂剂可以选择的范围比较广范。（2）液相外延的生长的设备简单而且容易获取。（3） 生长得到的晶体纯度高，整个过程中使用的原料和得到的产物是安全无毒无害的，实 验过程也利于操作而且没有危险系数。（4）有比较高的生长速率，实验过程效率高。

（5）实验最终获得的晶体完整性比较好，能较好的满足我们的实验需求，外延层的 位错密度比衬底低。

当然，液相外延技术在越来越高要求的发展过程中也出现了不足之处，例如：（1） 当外延层与衬底的晶格常数差大于 1%时，这时候化合物就不能进行很好的生长，从 而影响实验结果和需求。（2）因为需求的变大和研究方向的扩展，使用的材料变得 越来越多，而分凝系数的不同，我们在生长方向上控制掺杂和多元化合物组合均匀性 就会变得比较困难，只有生长很薄的外延层这些影响才不大。（3）无法避免的一点 就是液相外延的外延层表面一般没有气相外延好。