真空镀膜技术国内外研究现状(2)_毕业论文

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真空镀膜技术国内外研究现状(2)


 表1 国外主要厂家
日本SHrNCRON
(新科龙)    日本OPTORUN(先驰)    德国Leyboid Optic(莱宝光学)    韩国Hani(韩一)
BMC•70o~l80系列箱式真空镀膜机
    NBPF-2型箱式真空镀膜机(DWDM)    A904--A1504 系列箱式真空镀膜机    HVC.900系列箱式真空镀膜机
SMC.1100型箱式真空镀膜机(D、胁M)
    o矸C.1lo0型箱式真空镀膜机    APS9O4~1504系列箱式真空镀膜机   
CES系列连续式真空镀膜机        SYRUS、SYRUS.系列箱式真空镀膜机   
表2 国内主要厂家:
表2 国内主要厂家:
固投南光有限公司    北京北仪    上海曙光机器厂    广东振华
ZZ5O0--1250系列箱式真空镀膜机    DM 系列箱式真空钢族机    KD 系列箱式真空镀膜机    ZCK系列箱式真空镀膜机
ZZS500--2200系列箱式真空镀膜机    ZZSX系列箱式真空镀膜机        GX系列箱式真空镀膜机
与国外厂家同类设备相比,我国生产的设备主要的差距在于:
1.设备的自动化程度低,光学膜镀层控制精度低,达不到自动控制的要求;
2.设备的可靠性较差, 电气控制以手动为主,全自动控制较少;
3.设备的研发落后于镀膜工艺技术的发展和市场的需求。 (责任编辑:qin)