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    近现代，能源缺乏、环境污染和温室效应越来越严重，但是太阳能电池却有着绿色无污染、可再生等特点，一直被世界各国持续研究。目前，太阳能电池的主要材料用的是硅。但其中制造成本过高，因此其他不同的金属氧化物材料正在被广泛的研究。来自优I尔Q论T文D网WWw.YoueRw.com 加QQ7520~18766

 最近的几年，很多的化合物半导体电池技术都在快速的进步。像GaAs、CdTe、CulnSe2几种典型的化合物半导体太阳能材料中，砷化稼仅适用于一些要求较高的地方比如太空或军事领域，因为虽然它的光电转换效率高，但价格较贵；其次，对于CulnSe2，目前人们对其薄膜太阳能电池的研究还不是很深入，因此它有着很大的发展空间，17。6％是目前在实验室中能达到的转换效率：禁带宽度为1。45eV的CdTe多晶薄膜，其转换效率可以高达16%-29%，不仅如此，其成本也很可观，因此，CdTe电池已被小规模应用于生产。而CdS这种材料，可以和CdTe 、CulnSe2这类型的材料结合制成质量很好的异质结太阳能电池。

 本论文主要研究半导体化合物CdO，它的禁带不宽，载流子浓度高、透射率高、迁移率高，是其最大的特点［1］，并且方法用对了的话比较容易得到它的质量相当不错的薄膜，而且限制条件也不苛刻，常温常压，低温低压均可成膜。同时，CdO薄膜与CdTe、CulnSe2 以及Si 等形成异质结太阳能电池，能投入大规模生产且成本较低，因此在CdO在这方面有较可观的发展前景。

1。2 薄膜的制备方法

透明导电薄膜的制备方法已经成型。总结一下大致分为两类，分别是一、物理气相沉积法(PVD)，二、化学气相沉积法（CVD）。         

首先介绍下CVD化学气相沉积法，顾名思义，它的本质是一种化学反应过程。反应物与衬底的表面发生化学反应，同时样品表面温度升高，随着时间的流逝然后生成的固态物质在表面沉淀积累，就能够形成所需的固体薄膜。目前来说，这种方法在特定的几个领域用的较多，这几个领域都是晶体领域。

其次是物理气相沉积法，这是本次论文主要用到的方法。显而易见，该方法是一个物理过程。与化学方法有明显区别。该方法在真空条件下进行，用将液态或固态的物质形态改变，这边就很明显看出来使用的是物理方法。物质形态改变为气态原子、分子或离子之后，发生各种物理反应，比如加个电场磁场，让它们轰击靶材表面进行沉积，然后就能够制造出的高质量的薄膜。

物理气相沉积法进行更细致的划分可分为：直流磁控溅射法、射频溅射法、热蒸发法等。

    本论文具体研究的是物理气相沉积法中的一种，该法通常我们将其分为以下三个步骤：

    首先，气化所要制备的原材料。论文网

    其次，通过磁力将气化后的粒子使其聚集到基片表面周围。

    最后，基片表层附近的粒子物质通过物理反应生成膜或在基片上聚集，成丘壑态。

    它具有以下优点：

   （1）薄膜致密均匀，纯度也很高；

   （2）控制膜厚度比较简单，并且结构也更加多样化，成分更加的稳定，薄膜的表面也相当十分平整；

   （3）膜与基片结合非常牢固；

   （4）沉积的介质薄膜保留了块状材料独有的某些特性；

   （5）对靶材的要求不是很高；

   （6）制作流程相对比较简单，可直接应用于实际工业生产中，并大规模生产。

溅射一般有两种装置，其中，当靶材为良性导体时，采用直流溅射装置。反之，用射频溅射装置。 (责任编辑：qin)