薄膜折射率的测量研究+文献综述(9)
时间:2017-01-17 19:59 来源:毕业论文 作者:毕业论文 点击:次
表1：椭偏仪测量SiO2薄膜实验数据1 入射角θ/° A/° P/° Ψ/° Δ/° n21 50 43.45 152.37 46.55 145.26 1.438 55 42.90 159.86 47.08 130.28 1.465 60 42.17 166.41 47.83 117.18 1.455 62 43.42 170.09 46.58 109.82 1.455 64 43.18 173.71 46.82 102.58 1.459 66 42.98 177.32 47.02 95.35 1.460 68 42.81 1.88 47.19 86.24 1.475 69 41.39 5.03 48.61 79.95 1.498 70 43.26 8.08 46.74 73.84 1.519 71 44.98 10.35 45.02 69.31 1.530 72 45.77 12.30 44.23 65.39 1.534 73 46.29 13.44 43.71 63.11 1.518 74 46.34 15.86 43.66 58.28 1.533 75 47.41 17.77 42.59 54.47 1.539 76 47.65 20.01 42.35 49.98 1.554 77 46.53 21.43 43.47 47.14 1.537 78 46.68 23.39 43.32 43.22 1.542 80 46.99 27.60 43.01 34.79 1.571 所测的折射率与入射角度的关系如下图： 表2：椭偏仪测量SiO2薄膜实验数据2 入射角θ/° A/° P/° Ψ/° Δ/° n22 50 42.60 152.21 47.40 145.58 1.445 55 42.81 158.76 47.19 132.48 1.448 60 42.43 165.9 47.57 118.21 1.446 62 41.36 172.58 48.64 104.84 1.501 64 1.501 43.73 176.31 46.27 97.39 66 45.00 0.67 45.00 88.67 1.516 68 45.45 4.00 44.55 82.00 1.512 (责任编辑：qin) |