MBE和MOCVD生长GaAs光电阴极的表面清洗工艺比较研究(2)_毕业论文

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MBE和MOCVD生长GaAs光电阴极的表面清洗工艺比较研究(2)

   图1。1 光电效应原理图

外光电效应最早是在1887年由德国物理学家Herz,在推导Maxwell方程时偶然发现,当时大家将这一系列由光照引起电能变化的现象,统称为光电效应。一年之后,德国物理学家Hallwachs证实,由于放电间隙中存在荷电体,光电效应由此出现[2]。1899年,英国物理学家Thomsom发现电子,并通过实验证实和阴极射线相同,这种荷电体是电子流。20世纪初的几年内,P。Lenard对其进行了全面研究,将它命名为光电效应。1905年,Einstein提出光量子理论,并运用该理论对其进行了系统的解释。十年后,美国科学家Millikan通过精密的定量实验证明了Einstein的光量子理论[3]。这种认识为光电阴极其后的发展奠定了基础。

为了制备出光电转换效率较高的光电阴极,科学家们进行了艰苦卓绝的探索。在1930年到1970年间,发明了以下六种主要的光电阴极:银氧铯光电阴极(Ag-O-Cs)、钾铯锑光电阴极(K2CsSb)、铋银氧铯光电阴极(Bi-Ag-O-Cs)、铯锑光电阴极(Cs3Sb)、钠钾锑光电阴极(Na2KSb)、钠钾锑铯光电阴极(Na2KSb[Cs])[4]。这些光电阴极的出现,尤其是Sommer发明的Na2KSb[Cs]多碱光电阴极,在整个可见光谱范围内拥有比以往任何阴极都优秀的量子效率,因而在光电倍增、光电成像等众多领域中得到了广泛的应用[3]。

1965年,J。J。Scheer和J。Vanlar为了获取量子效率更高的光电阴极,在重掺杂P型GaAs表面覆盖Cs后制成了一种新型光电阴极,这种光电阴极具有零有效电子亲和势[5]。1968年,A。A。Turnbull和G。B。Evans给GaAs表面交替覆盖Cs、O后,首次获得了一种具有负电子亲和势(NEA)的光电阴极[5]。得益于这种负电子亲和势光电阴极的创造,光电阴极的发展迎来了腾飞。NEA GaAs光电阴极具有发射电子能量分布及角分布集中,暗发射小,量子效率高,长波响应扩展潜力强,长波阈可调的特点[6]。由于这些诸多优点,NEA GaAs光电阴极获得了飞速的发展。

1。2  GaAs光电阴极的表面结构及特征

    自1970年以来,得益于分子束外延(MBE)技术的成熟,人们才能够制得纯净的 GaAs 表面,由此,才真正打开对GaAs 表面结构研究的大门。GaAs(100)面在实际生产和应用中占比较大的比重,因此对GaAs表面结构的研究,大部分都投入在(100)面,以及容易经过解理获得的(110)面[7]。有低能量电子衍射研究表明[8。9],在GaAs(100)表面含有多种重构,并且这些重构形式被表面Ga/As比高度影响。当表面富Ga时,结构为c(4×2)或(8×2),随着 Ga/As 比降低,结构转化为(1×3)或(1×6),随后为c(2×4)或 (2×8),最后变为富 As 的 c(4×4)结构[7]。其中有些结构只有在高温环境的As气室中才能稳定。

    上世纪末以来,随着扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)分析技术的发展,科学家们能够把表面结构的研究提升到原子水平上来,并且能在低能量电子衍射的研究成果基础上,再对原子的排列、组合做深层次研究。Larsen等研究认为,c(4×4)结构是三角成键的 砷二聚体的化学吸附相,三个以[110]方向为轴的二聚体构成了这种结构单元,其中砷的空位决定了表面As覆盖度的变化[10]。Farrell和Palmstrom以反射高能电子衍射的衍射特点为依据,将c(8×2)结构分为α相、β相和γ相[11]。两个镓的二聚体和两个缺砷的空位构成了富Ga的(4×2)结构单元。Avery等人认为表面无序是主要原因,而Hashizum等人认为,这是由结构变化和表面无序共同引起的[8]。

    研究显示,GaAs(110)面没有重构,唯有(1×1)结构,即表面的As原子相对Ga原子而言,向外位移了0。65Å,Ga-As 键弯曲了27°[11]。研究发现,GaAs极易吸附如O2、H2O、CO、CO2等活性成分,并形成由电荷转移而引起的新的表面成分,因为GaAs表面存在大量的悬空键[7],其化学组成因而受到科学家们的持续关注。 (责任编辑:qin)