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图3。1。2 溅射镀膜装置图

3。2  等离子喷涂法

    这三种离子体：1、在高温下的等离子体，其主要表现为核聚变的研究，其温度将会达到电离度的最高。2、在低温低压离子体重也有将近百分之一的电离度实现这一变化。离子以及其他自由电子其功能平衡都有所接近。

    在进行等离子喷涂的时候所采用的手段为借助于恒流电对于等离子进行电弧处理，借助于粉末的处理手段 [16]。这种方法是在火焰喷涂的基础上产生的，使用范畴很广，并且精密性很强，详细机理参照图3。2。一开始借助于送粉气把喷涂的原料粉末进行运送，将其置于高温环境当中，实现快速的熔化，然后在送粉气的推动下获得动能并逐渐形成高速液滴，在与低温基底的相互碰撞中迅速冷却下来，并且凝结在工件表面上，就这样坚固的表面层诞生了。来:自[优E尔L论W文W网www.youerw.com +QQ752018766-

图3。2 等离子喷涂原理图

借助于等离子进行喷涂处理的过程中，一些因素的出现使得其质量受到不利影响，内容可以概括为：

离子气体：在进行气体的选择的时候首先会考虑其价格， N2 气性能优良，而且价格相对较低，唯一的不足就是容易出现生氮化反应。Ar 气其离子稳定易燃且电离度低，比较适合微小型喷涂，Ar 气的优点是保护功效比较强，缺点是热焓较低且价高。在气体流量发生变化的时候，等离子型焰流的流动速度以及热焓发生改变，在这种情况下具体的喷涂效率等会随之发生改变。当流量过高时，气体流出能将等离子流体中的热量带出，增加了喷涂粒子速率，使得喷涂粒子停留于等离子体火焰中的时间减小了，致使粒子无法满足塑性和半熔化变形的要求，降低了涂层的硬度、粘接强度以及密度；与此同时，假如电弧电压的值偏差较大，其粒子的喷射速度会大大降低。如果喷涂条件变差，那么，因为受到高温的影响会使得材料出现气化的情况，进而使得材料更多的聚集在喷口位置上，随着时间的不断推移使得空穴不断扩大。