2  移相式斐索干涉仪

2。1  移相干涉的基本原理

移相干涉的基本原理就是往移相式干涉仪的参考光路中加入一个随时间变化而变化的位相调制，从测量干涉场内各点交流的位相差信号里提取出三幅或三幅以上的移相干涉条纹图，然后利用相减或者相除之类的信号处理方法处理获得的干涉图，移相干涉在消除干涉测量中固定的系统误差方面有着显著效果，同时一定程度上能够削弱噪声、气流扰动、环境振动以及温度场等等随机误差对测量结果产生的影响[12]。

控制电路产生激励，使得压电晶体发生微位移，令参考镜发生几分之一的光程变化，这样的变化导致产生的干涉条纹图跟着发生了变化，干涉场的光强分布可以用下式表示： (2。1)

上式中，为干涉光场的背景光强；是直流光强分布，即调制振幅；是待测和参考波面之间的位相差分布（简称为待测波面位相）；为两条光路中的可变位相。

可以用N步移相法求得，常用移相方法有四步相移法，即N为4的情况下，移相量分别为，则有：

由于上式是以反正切函数来计算求解的，之后还需将求得的的位相进行解卷绕和斜率去除。上式明显含有相减以及相除的运算，那么上面的干涉场里固定噪声和探测误差的影响基本都被抑制了，此为移相干涉技术一个出众的优势。来-自~优+尔=论.文,网www.youerw.com +QQ752018766-

移相干涉技术除了有助于系统误差的消除外，在多次重复性测量的情况下还可以减少随机湍流、飘移及振动对测量结果的干扰。

2。2  移相式斐索干涉仪的组成及原理

斐索干涉仪的原理就是利用激光的干涉原理，以压电晶体作为移相器的移相式斐索干涉仪由于其精度高的优点，在光学测量中应用广泛，