2。1。2  PSD的结构与特点

PSD虽然是一种新型光电探测器件，但是与其他阵列光电器件相比，具有以下特点[8]：

(1)响应速度高。

(2)位置分辨率高。

(3)位置输出与光点强度及尺寸无关，只与其重心位置有关。

(4)可同时检测入射光点的强度及位置。

(5)信号检测方便，价格相对来比较便宜。

对于二维PSD，有四个输出电极，二维PSD检测入射光点在光敏面上的位置信息有两个，即横向的坐标与纵向的坐标，所以要测四个光生电流输出信号来计算，根据电极位置的设置、光敏面形状、单面或双面分流、光敏面周围是否设附加电阻边框等可以将现有二维PSD分成四边形电极结构、双面结构、带电阻边框枕形结构(简称枕形结构)、带电阻边框方形结构(简称方形结构)和直角形电极结构五种[6]，其中最常见的是前面三种。来:自[优.尔]论,文-网www.youerw.com +QQ752018766-

图2。2 二维PSD结构示意图

如图2。2(b)为四边形结构位置敏感探测器简化图，由图可以看出器件表面的四面设置有四根相互的独立输出电极1~4，还底面设置有公用电极5，通过在公用电极上加反向偏压来使PSD正常工作，设光敏面的尺寸为L×L，如果从四个输出电极输出的电流信号为I1、I2、I3和I4，以输出电极1和输出电极3的交点作为坐标原点，则入射光点的坐标测量公式如下