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缺陷会对 XRD 衍射线产生不同的影响[4]。
内应力是在物体内部存在并保持平衡着的应力。按存在范围的大小，可将内应力
分为以下三种：
第一类内应力：在宏观尺度范围内存在并保持着的应力，也称为宏观应力。此范
围包含了无数个小晶粒。宏观应力会使材料在较大范围内产生均匀应变。当材料内部
存在单向拉应力时，平行于应力方向的（hkl）晶面间距缩小（即衍射角增大） ，同时
垂直于应力方向的同族晶面间距增大（即衍射角减小） ，当材料中存在压应力时，晶
面间距及衍射角的变化与拉应力相反。由于由于方位相同的各晶粒中同名（hkl）面
衍射角变化相同，从而导致各衍射峰位相同一方向漂移。这就是 X 射线仪测量第一类
应力的理论基础。
第二类内应力：在数个晶粒范围内存在并保持平衡着的应力。又称为微观应力。
位错造成的应力就属于此类。由于其存在范围小，应力应变分布不均匀，各晶粒的同族{hkl}晶面间距有的增加，有的减小，导致衍射峰向不同方向位移，引起衍射峰漫
散宽化。这就是 X 射线仪测量第二类应力的理论基础。
第三类内应力：在若干个原子范围内存在并保持平衡着的应力。又称为超微观应
力。由于应力存在范围为晶胞尺寸数量级，应变会使原子离开平衡位置，产生点阵畸
变，导致衍射强度降低[4]。
晶粒细化也会造成衍射峰宽化。对于多晶试样而言，当晶块尺寸较大时，倒易点
不容易扩展成倒易杆， 与每个晶块中的某一晶面{hkl}相应的倒易点近似为一几何点。
由无数晶块中同族晶面{hkl}相应的点组成了一个无厚度的倒易球面。
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