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the differences are small. The conductance C(s) depends in many cases
linearly on the spool displacement s.
If a fast servo valve is used, the dynamics of the valve can be neglected
and the input signal to the valve uValve can be used instead of the spool dis-
placement. Schwenzer reports that this condition is met if the corner fre-
quency of the valve is 40 to 50 times higher than that of the cylinder unless
very high feedback gains are used in the position controller. In that case位置控制的气动系统
气动系统有很多的优点: 他们通常是快速的, 粗糙的、文护简单和成本低。从一个固定的一部分移动到另一个固定的位置,拥有固定停止和开关阀门的气缸是一种自然的选择。如果一个停止在结束之间的位置，这种情况的变化是必需的。这种情形出现在例如在材料处理当故障部件必须被驱逐到另一个容器的好部分。这个任务需要一个多位气缸或一个闭环定位系统。
由于电动的直流电机驱动滚珠丝杆可以非常容易控制，由于在过去他们已经使用。今天有更多的电动的替代品：交流控制电机像线性电动驱动器一样提供现成的产品。由于压缩空气,不利摩擦特性和低阻尼、气动驱动要求复杂的控制器。但他们也提供优势: 可压缩性
的空气提供了一个“缓冲”效应在应用程序像吹塑或玻璃成形是重要的(Han and Alleyne 2000). 他们也可以被用于没有热量产生的真空; 这种情况出现在半导体的生产(Kagawa et al. 2000b). 在此应用程序该报告的准确性是±0.2μm。
第一个理论和闭环的实验结果, 气动位置控制系统在1954年由希勒介绍的。他做了一个理论，分析了一个气缸,一个比例方向控制阀和一个机械比例控制器的关系。为了稳定系统, 在进口口岸他使用了层流阻力油箱。为了平衡理论和实验工作，他在一个模拟计算机做了许多仿真运行。他的系统在比今天工业应用更高的压力下工作，而且不同于今天的驱动器。
Burrows and Webb (1966)扩展的分析使用希勒的从线性控制理论技术。
1969年Burrows描述, 和那些由其他人描述的用于以后的工作的系统结构是非常相似的:“阀门的扭矩电机控制器,受资金影响的位置、速度和瞬态压力反馈”。 这意着有一个电动换向阀和一个反馈控制信号的位置和额外的信号控制速度和压力变化。Barker (1976).发表第二重要的贡献。他使用了Luenberger observer来重建速度和加速度信号的测量位置信号,这样就可以省略两个传感器。这两个额外的反馈信号显著提高的表现系统,一个线性气动执行机构在导弹飞行控制系统。
海纳(1976)研究了电控控制回路。他使用一个商业液压伺服阀和一个密封液压缸因为在那时专用气动组件还没有。他发现单回路的比例位置控制可以大大提高了使用额外的信号,如负载压力。
1983年Schwenzer做了系统研究在当时的已知的控制规律对于气动驱动器的影响。从单回路反馈开始, 他增加了额外的反馈信号。最后,他研究了状态空间控制器他看起来都在满阶状态观测器和微分电路重建活塞速度和加速度。其他几个理论和实验研究之后。使用不同的方法,达到最佳精度是0.01毫米(Schwenzer 1983; Nguyen 1987:76;Pu 1988; Wikander 1988).
在80年代第一个商业产品可用 (Bala et al. 1986;Pu and Weston 1988; Virvalo 1995a:12)。它花了将近二十年来开发这种技术，是现成的控制气动点驱动器，可以被视为标准组件,不需要特殊的培训在控制系统设计是成功运营的(Zhou 1995)。
可实现精度小于那些电动驱动器但实用于许多应用程序。Muijtjens(1998)给出了一个重复性的±0.05毫米电动驱动滚珠螺丝和重复性的±0.15毫米那些有齿皮带虽然气动伺服驱动器达到±0.1毫米。Howe (2004)指出,电驱动能力的准确性±0.025毫米,精确的商业气动系统不如±0.81毫米和重复性低于±0.13毫米。