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filling behavior of ZrO2 feedstock.The effect of them
on the replication quality of the micro gear cavity was
also investigated.The solvent debinding followed by
the thermal debinding process was studied.
2.Experimental
2.1.Raw materials and mold insert
In this study,submicron-sized zirconia powder
mixed with 3mol%yttria was used to prepare the
feedstock.The morphology of the powder was examined
by scanning electron microscopy(SEM,
JSM-6510A)in Fig.1.It can be seen that the powder
consists of nearly spherical particles and most of which
are smaller than 1μm.Fig.2 shows the X-ray注射成型和微齿轮制造的脱脂微粉末注射成型
摘要：微粉末注射成型经调查被用来低成本的大量生产微电器。然而，在脱脂和注塑上按比例缩小到这样一个水平是一种挑战。微型齿轮从内部有μPIM原料制造。对于影响复制微齿轮腔的注入压力和注入速度进行了调查。对溶剂脱脂和热脱脂过程进行了讨论。结果显示微齿轮在70兆帕的注入压力和60%的注入速度时成功的制造出来。太低或太高的注入速度都会造成微齿轮填充的不完整。同样的太低的压力也是一样。太高的注入压力会使其破裂利用溶剂脱脂来进行石油醚和乙醇的混合。随后，微齿轮由一个多补加热时间表成功的计算制造。23575
关键词：齿轮制造、微齿轮注塑、脱脂、氧化锆
1.前言
在过去的十多年里，对于应用于微电子系统、微流体和医疗工具的微型组件或微观结构的需求有了很大的提升。一个典型的就是微粉喷射造型法技术（μPIM）用来生产大规模复杂微组件。从粉末注射成型（PIM）得到进化的是4个主要得到提升的步骤：原料准备、注射成型、脱脂和烧结。论文网
在μPIM生产过程中注射成型是至关重要的对于模具填充和脱模有着显著的影响。在注入期间，融化的原料流慢慢通过入口填满型腔形成所需要的部分。不适当的成型参数会导致诸如短、破裂和粉末粘合剂脱离等缺陷，这些通常发生在脱脂和烧结阶段。Krug et al. 揭示了以前的压力数据在大型注入模型制品期间粘合剂去除后出现的裂缝有着显著的效果。Tsai et al.发现柔性焦距透镜组的表面质量可以改进高溶解温度，注射压力，密封压力和模具温度。Chen et al.发现微通道的尺寸精度随着微喷射速度，密封压力和融化温度的增加而增加。相比于传统的PIM技术μPIM技术有着更强的不同的需求。例如，一个较低的喷射速度要求在脱模过程中避免失败或者粘结。在μPIM过程中所谓的脱模也就是从模制品中去除粘结剂是一个很重要的步骤。样品变形和长持续时间工作的高风险是μPIM经济上成功的主要问题。一般来说，广泛使用的脱脂方法是溶剂脱脂和热脱脂的结合法。通过溶剂脱脂的一步，粘合剂的部分组件可以被除去并且出现孔隙通道，这些有助于在接下来的热脱脂中移除剩余的组件。没有介绍任何瑕疵的脱脂过程中具有很大的意义因为这些缺陷不会在接下来的烧结中去除。在本文中，两个工艺参数注入速度和注射压力被用来研究填充氧化锆原料。他们对于微齿轮质量复制的效果也同时被研究。在热脱脂之后紧接着溶剂脱脂的方法也在研究中。
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