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摘要自有研究发现TiO2薄膜的光催化性能以来，TiO2由于具有高的光催化活性、良好的化学稳定性、可存在时间长、无毒安全以及成本低廉等优异特性而被认为是当前最具开发前景的环保型光催化材料之一，在环境保护、生物医学、材料科学和能源利用等领域中有着广阔的应用前景。除光催化性能外，TiO2还具有其它的一些优越的性能，在太阳能电池、抗菌剂、防雾剂等方面得到了良好的应用，这些应用价值都与其光学性质有密切的联系。30621
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本课题通过磁过滤直流阴极弧蒸发法制备N掺杂的金属Ti薄膜，然后在不同温度下进行退火处理，探究知道在600℃退火温度下，制得了具有最好光催化性能的N掺杂TiO2薄膜样品。
关键词 TiO2薄膜，光催化，磁过滤直流阴极弧蒸发法，N掺杂
毕业论文设计说明书外文摘要
Title Double excitation source evaporation of doped TiO2 thin films prepared by arc and its photocatalytic performance
Abstract
Ever since the research found that the photocatalytic properties of TiO2 thin film, TiO2 with high photocatalytic activity, good chemical stability and can exist long, safe non-toxic and excellent properties such as low cost and is considered to be the one of the most development prospect of environmental friendly photocatalytic materials, has broad application prospects in areas such as environmental protection, biological medicine, materials science, and people's daily garbage disposal .In addition to the photocatalytic performance, TiO2 also has other excellent performance, in such aspects as the solar cell, antibacterial, prevent mist got good application, the application value and its optical properties are closely linked.
This topic through the magnetic filter dc cathodic arc metal Ti film evaporation of N doping, then under the different temperature annealing treatment, explore know at 600 ℃ annealing temperature, with has the best photocatalytic properties of N doping TiO2 thin film samples.
Keywords TiO2 thin film，Photocatalytic，magnetic filtered cathodic arc plasma vaporation，N doping
目 次
1 绪论 1
1.1 二氧化钛的晶型 1
1.2 二氧化钛薄膜的光致特性及光催化机理阐释 1
1.2.1 二氧化钛薄膜的光致特性 1
1.2.2 光催化机理阐释 2
1.3 二氧化钛薄膜的制备方法 2
1.3.1 化学气相沉积法 2
1.3.2 物理气相沉积法 3
1.3.3 溶胶-凝胶法 3
1.3.4 水热法 3
1.3.5 电化学制备方法 3
1.4 二氧化钛薄膜的应用简介 4
1.4.1 在环保领域的应用 4
1.4.2 在生物学领域的应用 4
1.4.3 其它领域的应用 4
1.5 二氧化钛薄膜的不足与改进方法 4
1.5.1 二氧化钛薄膜的不足 4
1.5.2 改进方法 5
1.6 本论文的研究目的与内容 5
2 氮掺杂二氧化钛薄膜的制备及表征手段 7
2.1 双激发源电弧蒸发法制备氮掺杂二氧化钛薄膜 7
2.1.1 双激发源电弧蒸发法简介 7
2.1.2 镀膜试验用装置 7
2.1.3 薄膜制备流程 8
2.2 薄膜的表征手段 9
2.2.1 X-射线衍射仪（XRD）分析 9
2.2.2 拉曼光谱仪（Raman）分析 9
2.2.3 扫描电子显微镜（SEM）分析 9