在光电信息技术飞速进步和发展的推动作用下,目前已经推广出新型先进的缺陷检测方法—机器视觉检测。所谓视觉检测就是用机器替代人眼检测目标,将提取到的目标转换为图像,然后通过图像处理系统获得有用的信息,基于机器视觉的检测技术有很多的优点:(l)非接触式检测,避免对被检测者产生额外的“缺陷”,检测的可靠性得以有效的保证 (2)频谱响应范围大,所能检测的对象十分广泛,比如人眼观测不到可见光之外的红外、超声波等波长的存在,总体来说比人眼的视觉范围更加宽阔 (3)人工检测会挑剔环境而且会疲劳影响工作效率,机器视觉却可以适应各种环境且不知疲惫能长时间测量分析,能够取代大量的人工劳动力 (4)它还能节省大量的资源,降低成本,给产业带来巨大的经济效益,特别是大批量加工生产的企业。基于上述优点,该检测方法自上世纪就受到非常广泛的关注,并得到了很多科研人员深入的研究,至今仍然不断进步发展[6]。25424
液晶显示器件是20世纪60年代美国率先发明的,紧接着LCD就诞生了,短短几十年间该产业飞速发展[7][8],1972年第一只使用液晶显示屏的手表Gruen Teletime诞生,紧接着1973年第一个液晶显示计算器Sharp EL-805,1981年第一台液晶显示便携式计算机EPSON HX-20,1989年第一台笔记本计算机NEC UltraLite等等。LCD是美国先发现且起步研究的,但更深入的研究发展是在中国台湾,日本,韩国等地区,自然而然这些地区的LCD缺陷检测技术及设备更为先进创新。论文网
德国的伊斯拉(ISRA)公司,研制出的阵列部分检测AOI[9]系统,由彩色滤光片和阵列等几部分组成,能够对液晶显示屏生产流水线的每一道工序进行实时检测,提高了良品率,这满足了最初对检测方面首要以及重要的要求[10],其设备如下图1.1所示。
日本FAsT公司,其生产的Fv-pixellenee全自动缺陷检测系统,能用于全面检测不同类型平板显示器的各种缺陷,包括点状、线状和块状缺陷等,只需一台显示器触控操作,即可同时控制八套电脑系统进行同步检测,提高了效率,同时该设备还可以根据客户不同的检测需求进行调整和改进,具有不错的实用性和广泛性[10],其设备如图1.2所示。soka大学也深入的研究和探讨了多台摄像机共同检测平板器件缺陷的课题。
图1.1 ISRA公司生产的AOI设备 图1.2 FAST公司生产Fv-pixellenee系统
韩国首尔大学的机器视觉实验室曾与三星电子集团,联合研究了LCD显示缺陷光学自动检测方面的内容,开发出一种全新的形态学处理方法,在传统的模板配准基础上加以改进,同时扩大了该系统能够适用的领域范围,取得了关键性的进展[6]。庆北国立大学的电子工程与计算机学院,利用多项式拟合、选择最佳阈值分割,有效的提取出含有缺陷的区域,进一步提高了检测精度,在替代人工检测 LCD缺陷方面跨越了一大步[11]。
我国最初虽然跟着世界的脚步也实现了LCD屏的批量生产,但是生产和检测技术的不成熟使得产品存在不先进、稳定性不好的缺点。为了改善产品,近些年国内各大研究所以及高校不断努力研究,不同程度上也都取得了一些不错的成果。
台湾对液晶显示屏缺陷检测的研究相对国外来说比较迟,一直到九十年代平板显示器件产业快速发展、迅速普及的时候,LCD的相关研究才开始起步。华昀科技研究出的LCD数组检测设备,能对面板上的每个像元进行准确的检测,及时反馈缺陷信息,有力的降低了生产成本[10]。淡江大学的机电工程院,以及成功大学的制造工程所,都有该方面的研究分队,很多大型企业也在研究缺陷检测方面投入大量资源,前后研发出针对不同类型平板生产的多种检测仪器,能够最广泛的满足各个平板厂家的生产发展要求。
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