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光度法测量薄膜厚度，使用的仪器是分光光度计。现国内外常见的有美国PerkinElmer公司的lambda 650/750/850/950 紫外/可见光/近红外分光光度计系列，美国VARIAN公司的cary系列，日本SHIMADZU公司的UV-3700紫外可见近红外分光光度计，本HITACHI公司的U系列，上海光谱仪器有限公司756型紫外可见分光光度计，北京谱析通用仪器公司TU-1901/1900型紫外可见光分光光度计等。PerkinElmer公司的lambda 950的精度是紫外可见区±0.08nm和近红外区±0.30nm；Varian的Cary5000的精度紫外可见光区±0.1nm和近红外区±0.4nm；SHIMADZU公司的solidsec-3700DUV精度紫外可见区±0.2nm和近红外区±0.8nm。8991
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2 椭偏法
椭偏法测量薄膜厚度，使用的是椭偏仪。现国内外使用的有美国J.A.Woollam公司的VASE，适合对各种材料的研究，如半导体、绝缘体、聚合物、金属、多层介质等。德国SENTECH公司的SE 800可测量单层或多层膜、界面、极薄或极厚膜的厚度。J.A.Woollam公司的VASE膜厚精度≤0.1nm，德国SENTECH公司的SE 800的膜厚精度典型值0.01nm。
3 白光干涉法
干涉法[14-19]测量膜厚方法现在有许多，我们做的是白光干涉法测量薄膜厚度，使用的是白光干涉仪。现国内外使用较多的是美国Wyko公司的NT 9800，它是分辨率、高测量速度及高重复性完美结合的三文测量仪器。英国泰勒霍普森的Talysurf CCI，它是用一种创新的专利相关算法来寻找有我们精确的干涉扫描单元所产生的干涉峰和干涉图样的相位形态来测量的。美国Wyko公司的NT 9800 英国泰勒霍普森的Talysurf CCI
4 轮廓仪
轮廓法测量薄膜厚度，使用的是接触式粗糙度仪粗糙度仪。现国内外使用较多的是英国泰勒霍普森的仪器，如Form Talysurf PGI 840型粗糙度轮廓仪，它是一台泰勒霍普森公司生产的专门用于非球面测量的粗糙度轮廓仪。德国马尔公司粗糙度仪如Marsurf XC 20。日本三丰粗糙度仪，它有清晰的大型读数字符显示，便携式设计，可用于任何场所，探测器和驱动部可拆卸，可在很小的空间内进行测量。泰勒霍普森PGI 840分辨率是0.8nm，马尔M1的分辨率是0.04μm。