1真空技术的发展以及真空冶金的诞生

1654年，为了证明大气压的存在，时任德国马德堡市的市长奥托·冯·格里克(Guerike)，制作出世界上第一台真空泵。与此同时，“马德堡半球实验”也标志着真空时代的来临。后来各种真空泵层出不穷，功能各不相同。直到1643年，E。托里拆利用一米长一段封闭的玻璃管，装满水银，倒立放在水银槽中。测出了一个大气压为760mm水银柱高度。1874年，H。麦克劳(Mcleode)依据理想气体的波义耳定律，制作出压缩真空计，这也被称作麦克劳真空计[2]。麦氏真空计可以方便的测量出真空容器中的真空程度。85083

鉴于两位科学家的贡献，使得真空泵和真空计的相继出现，这也致使真空技术飞速的发展，并且广泛的渗透到工业部门的各个领域，真空冶金就是其中一个重要分支。

2真空设备与技术的发展

在1865年，贝赛麦（Bessemer）为了消除浇注过程中产生的气泡、裂纹等缺陷，把冶炼好的钢水放入真空中进行浇注，但是由于当时对于真空设备和真空技术的认知不足，贝赛麦的设想没能成功。直到73年后，伴随着真空脱气设备的出现，这一设想终于被后人所实现。在真空条件下浇注而成的钢水铸件没有了气孔裂纹，产品质量和成品率大幅度提高，经济效益也随之显著增长。至今，世界有20%的钢材料经过了真空处理，美国有超过一半的钢产量经过了真空处理，而日本半数以上的钢厂装备了真空设备。

自上世纪80年代以来，在真空炉中，国外广泛采用高压气淬代替油淬，以免除清洗工序，提高工件表面质量。上世纪90年代初，国外已开发（20-40）×105Pa的高频淬火机，业内已经开发工作压力达100×105Pa，工作温度达2200℃的高温高压真空炉，向高温高压发展的趋势还将继续[3]。近二十年计算机技术的发展，渗透到了各行各业，在计算机技术的辅助下，研制开发智能控制系统和网络远程控制管理，实现真空炉设备和工艺的柔性化和连续化作业。此外，广泛采用真空炉工艺CAD和真空炉设计CAD技术，实现真空炉工艺最佳化和真空炉结构的优化设计。与此同时，新技术新工艺相继被开发和深入研究，如：深入研究真空感应加热技术；研发真空脱脂清洗技术和设备的开发与应用；研究真空离子注入、真空离子覆盖技术和设备的开发与应用。

3有色金属的真空冶金

1923年，德国首次制作出容量为4t，功率为350kW的真空感应电炉，用于研究真空炉熔炼；1926年，德国用真空感应电炉熔炼Co、Ni合金，这是人类首次把有色金属放在真空条件下冶炼；1935年，克罗尔提出了在真空条件下，在铅中提取锌，并于1947年在工业上得以实现；1957年，美国在M。v。皮拉尼研究的基础上，制作出第一台电子束炉，主要用于熔炼Ta、Nb等合金。我国也在1958年，研究真空电弧炉熔炼Mo、Zr、W等金属。在1960年，研究电子束熔炼W、Mo、Nb、Zr等有色金属。

近30年来，全球在有色金属的真空冶金技术方面取得了重大进步，总的来说，现在的真空冶金技术及理论已经发展到相当成熟的程度。然而，由于有色金属及其化合物的种类繁多，冶金技术多样，真空冶金的应用还不是很普遍。对于生产冶炼各种金属的技术和相关用于生产的设备还不算很多，所以有色金属的真空冶金还处于初级阶段，还有待发展和大规模推广。