在本论文中，我们通过第三方元素添加的方法制备了一系列的FeCo基合金薄膜，通过改变溅射气压得到三组薄膜样品，分别研究了溅射气压对这些薄膜的静态与动态磁性的影响。论文主要围绕以下几个方面展开：（1）采用射频磁控溅射方法，通过改变溅射气压分别制备FeCoB、FeCoN和FeCoAlO三组薄膜样品。（2）分别采用震动样品磁强计（VSM）和矢量网络分析仪研究薄膜样品的静态磁性和动态磁性，找出最佳溅射气压。
溅射气压对FeCo基软磁薄膜材料磁性能影响的研究(4):http://www.youerw.com/cailiao/lunwen_75256.html