3。3  用于材料测试的样品制备及性能分析 19

3。4  多层陶瓷驱动器样品制备结果及讨论 23

4 总结与展望 25

4。1  对本次工作的总结 25

4。2  下一步的研究展望 25

致谢 26 

参考文献 27

图 1。1 压电效应示意图 1

图 1。2 压电效应产生机理 2

图 1。3 PZT  压电陶瓷钙钛矿结构图示 3

图 1。4 PbTiO3-PbZrO3 二元系固溶体相图 4

图 1。5 压电多层驱动器的结构 6

图 2。1 干涉法测量 PZT  位移特性的原理示意图 11

图 2。2 X 射线衍射示意图 12

图 3。1 LTCC  制备压电多层驱动器工艺流程 13

图 3。2 流延装置示意图 14

图 3。3 叠片示意图 15

图 3。4 等静压前后样品显微图像 15

图 3。5 传统工艺烧结出的样品图片 16

图 3。6 排胶后的多层陶瓷样品 17

图 3。7 新程序烧结后的样品 17

图 3。8 程序②共烧得到的样品 18

第 II  页 本科毕业设计说明书

图 3。9 极化前后电畴变化 19

图 3。10 PZT  陶瓷流延片的 X 射线衍射图 20

图 3。11  圆片样品 d33  测试 20

图 3。12  圆片样品的频率电容（C-F）曲线 21

图 3。13  圆片样品的频率阻抗（Z-F）曲线 22

图 3。14  圆片样品随驱动电压变化产生是位移变化曲线 23

图 3。15  多层压电陶瓷的 XRD  图谱 23

图 3。16  PZT  多层陶瓷驱动器样品断面 SEM  照片 PZT压电叠堆材料及其精密驱动器件工艺(2):http://www.youerw.com/cailiao/lunwen_83489.html