（5）低磁导率，抗磁性优良。可以很好地避免磁性对微型零件的影响。

（6）受冲击条件下无火花和形状记忆效应，保证了工件在工作环境突变时的工作稳定性与安全性。

在微弹簧加工成形中，铝青铜作为金属材料，相比于传统的硅和SU-8胶，可以提供优良的应力应变和抗疲劳性能，塑性好，适合冷、热加工成形，可以制备不同工作环境要求下的微弹簧[40]。微机电系统对微弹簧材料的要求是兼具良好的力学性能和导电性能，铝青铜作为一种铜合金完全符合这两个条件。

1。5  课题的研究目的、意义及主要内容

1。5。1  研究目的及意义来;自]优Y尔E论L文W网www.youerw.com +QQ752018766-

MEMS在工业、航天、通信、生物工程、医疗、农业等我们所接触到的几乎所有领域都有着巨大的潜在应用前景，如传感器，应用领域大到飞机、汽车，小到便携式设备甚至心脏起搏器。而作为微执行器的重要组成部分，微弹簧的需求也日益增加。在前人工作中已经成功制备出性能良好的CuAl7平面微弹簧，但弹簧内部含有大量非纤维组织。积极利用塑性成形中形成的纤维组织可以有效地提高构件的疲劳寿命。在平面微弹簧中获得的纤维组织是塑性变形获得的，可以是原始坯料中含有的纤维组织，也可以从弹簧成形过程中获得，还可以是两者的综合。与退火态的材料不同，含有纤维组织的材料具有显著的各向异性，两者成形性能存在差异。因此本文拟采用QAl7铜合金作为坯料，研究原始组织对平面微弹簧挤压成形性能的影响。

1。5。2  研究内容

本文主要探究QAl7铜合金通过塑性挤压成形法制备微弹簧，工艺流程如图1。1所示。以QAl7铝青铜为原料，经过前期轧制、热处理，制备出原始组织不同类型的坯料进行挤压成形，观察微观组织，并测试其力学性能，探究优化平面微弹簧加工工艺的理论基础。