由于 FF-160/620C 复合分子泵需要有 10Pa 一下的启动压强，同时为了获得清洁的
高真空环境，因此动态图像测试台的初级机械泵选择为涡旋式干泵，其特点如下：
1） 间隙小、泄露少，具有较高的压缩比，在较宽的压力范围内有稳定的抽速；
2） 泵的工作腔对称，结构简单，零部件少，振动噪声小，可靠性高；
3） 工作范围宽，压缩容积的变化是连续的，功率变化小；
4） 在无油环境下工作，对被抽容器无污染；
5） 主要部件采用复合高分子材料，可抽除腐蚀性气体，操作方便。
2.2.3  低温吸附泵
本次毕业设计中的低温吸附泵指的是在低温下靠分子筛的物理吸附作用实现抽气
的真空泵。分子筛吸附泵结构简单、无油污染、无振动噪声，是获得无油真空很常用的
真空泵，经常用作无油真空机组的前级泵或超高真空机组的文持泵。在本次设计中低温
吸附泵用作机组的文持泵。其结构如图2.4所示：  
图2.4   分子筛吸附泵
低温吸附泵的原理是根据所有固体表面对气体或液体具有吸附作用，从而对气体或
低温液化气体进行吸附，达到真空的效果。虽然一切固体物质的表面都有吸附作用，但
实际上只有多微孔的物质或磨得很细的物质因表面积很大，才有明显的吸附作用。分子
筛就是这种物质。分子筛为多微孔型结构的碱金属铝硅酸盐，体内有许多空腔状晶胞，
其间有微孔相通。在液氮温度下，气体或液体分子通过微孔吸附于晶胞空腔的内表面上。
分子筛有很大的比表面积，所以能吸附大量的气体和液体。分子筛吸附气体有很强选择
性。它只能吸附分子直径小于微孔直径气体和液体。空气分子直径为 2～4 埃（1 埃
=1×10-10
米），油分子直径为 7～8 埃。分子筛对不同气体吸附强弱各不相同，对于氮﹑
氧和氩气体的吸附能力很强。但分子筛对氖、氦、氢等气体的吸附能力却极弱。
2.2.4  高真空插板阀
插板阀又称刀形闸阀，它是一种闸板与阀座始终紧密接触密封的阀门，其原理是闸
板上开有一个通径大小的圆口，通过闸板启闭使得闸板上圆口跟通径做完全脱离和相吻
合的动作。此阀门的优点在于阀体通径无凹槽，介质不会卡阻堵塞，并且具有全通径流
通特性，其密封结构可以分软密封、硬密封结构。
真空插板阀以 CC 型的较多，而且该型号还有气动与手动的两类。阀门用于接通或
切断真空管路中的气体。使用介质为纯净空气和非腐蚀性气体。其主要零件的特点如下：  
1） 轴封为波纹管密封，其他密封件为氟橡胶，无润滑剂设计；
2） 阀体采用不锈钢内部焊接，泄漏率小；
3） 阀体体积小、重量轻，外形美观。
2.2.5  真空管道
由于固体表面对气体或液体具有吸附作用，而固体的相对表面积越大，其吸附的气
体或液体就越多，而且对于高真空以及更高要求的真空系统来说，真个系统需要采用全
金属密封[13]
。因此在选择真空管道时，需要选择管道内壁更为光滑的较粗的不锈钢真空
管道。动态图像测试台是高真空获得设备，对于真空室需要进行加热。在高温下，所有
金属都更容易大气中的氧气进行反应，在表面形成氧化膜。不幸的是，在普通碳钢上形
成的氧化铁继续进行氧化，使锈蚀不断扩大，最终形成孔洞，不利于高真空环境的获得，
甚至会产生泄漏。因此在选择不锈钢管道时，需要注意管道的耐腐蚀性。
而不锈钢的耐腐蚀性取决于铬，但是因为铬是钢的组成部分之一，所以保护方法不 SolidWorks动态图像测试台设计+文献综述(6):http://www.youerw.com/jixie/lunwen_4155.html