PVD刀具涂层设备方案二布局图

优点：节省空间。

可减少管道耗材。

缺点：空间较为拥挤。

维护与维修不太方便。

3.2.3 方案三

机械真空泵放置在俯视图左下，涡轮分子泵放置在中部，两泵与炉腔用管道联接，电动机安放在右下。

 PVD刀具涂层设备方案三布局图

优点：节省空间。

涡轮分子泵放中部与炉腔相连较为简便。

与设备数控系统接近，减少耗材。

方便监视各个部件的工作情况，便于护理与维修。

发生状况时能及时排查。

缺点：机械在工作时可能会产生轻微噪声影响人体。

综合三种方案，方案三的总体优势优于其他两方案，方案三既减少了成本消耗，又能很好的监视各个部件的工作情况，各部件联接与其他方案相比较为简便，故选择方案三为本文布局。

4  毕业设计（论文）内容

4.1  目的与要求

基本内容基本内容基本内容基本内容。

1.了解现有的PVD涂层装备的整体结构，在此基础上基于NX（或Solidworks）及AutoCAD等软件进行结构设计。

2．综合运用过去所学理论知识，提高理论联系实际和综合分析能力，培养计算机辅助设计的工程实践能力。

3．训练和提高CAD的基本技能，以及查阅设计资料、标准及规范，编写设计论文书、计算说明书、技术文件等的能力。

4.2 毕业设计内容、具体工作

4.2.1 课题设计内容

1.合理设计PVD装备关键零部件，并考虑设计的实用性和应用场合；

2.二维或三维造型软件的学习及应用，基于AutoCAD或NX UG软件完成设计零部件机构三维或二维实体造型；

3.在现有PVD装备的基础上验证设计的合理性和实用性。

4.2.2 课题应完成的具体工作

1. PVD涂层装备总体结构方案和结构设计；

2．PVD涂层设备关键零部件关键零部件三维造型设计，二维图纸绘制；

3．验证零部件设计的合理性和实用性；

4．毕业设计说明书一份；

5．毕业设计开题报告一份；

6．毕业实习报告一份；

7．专业文献翻译一分(20000印刷符号) ；

8．毕业实习日志一份；

9．毕业设计记录一份。

5  工作进度安排

2月25日---3月5 日  学习课题内容，查阅资料，完成外文资料的翻译；完成开题报告，完成毕业实习；

3月 6日---3月26 日  涂层装备关键零部件结构设计，完成部分结构的设计和图纸绘制；

3月27日---4月27日  涂层装备关键零部件机构设计和绘制完毕，并在现有装备基础上验证设计的合理性；

4月27日---5月17日 编写、装订毕业设计说明书，完成并提交毕业设计全部设计内容；

5月17日---5月27日 准备毕业设计答辩；根据审核意见，修改、完善毕业设计内容；并将修改、完善后的毕业设计全部内容刻成光盘；

5月28日---6月 5日 提交毕业设计全部设计内容和光盘；提交申报优秀毕业设计的有关资料；

6月6日---6月13日 参加毕业设计答辩。