其中,k为波数,d为PZT移动量。
PZT移相法精度达到0.01um,完全满足了移相的精度要求。该方法操作方便,但由于PZT具有非线性,因此使用前需进行标定。
(2)偏振移相法
如图2.1所示,设两束准直好的光波
(2.2)
他们的偏振方向互相垂直。1/4波片的快轴与x轴夹角为π/4,经过偏振片P的光的偏振方向与x轴成θ角。设经过1/4波片前光场的琼斯向量为 ,1/4波片和偏振片的琼斯向量分别为 , ,则偏振后光波的光强分布可表示为
(2.3)
选择偏振片P,改变θ角,就可使相位发生改变。
图2.1偏振移相示意图
偏振移相是目前干涉测量中用的较多的一种方法。该方法移相精确度高,尤其适合使用在共光路干涉中。但使用该方法难以制作大口径的偏振元件
(3)波长移相干涉的原理[20]源:自~优尔·论`文'网·www.youerw.com/
如图2.2,参考反射镜和测量表面之间的光程差用h(x,y)表示,干涉信号强度如下所示:
(2.4)
其中, 的是背景, 是模数, ,k =0,1,2...N-1,是第k个波长移相。从上面的公式中可以看出,移相是通过波长调谐来实现的。
波长调谐随机移相算法的研究(3):http://www.youerw.com/tongxin/lunwen_72171.html