3。1  点光源在光轴上

    点光源在轴上，全口径95。5mm，出射波前优于λ∕10，口径为30mm,PV＝0。0958λ情况下。

3。1。1  准直透镜组容差分析

表3。1  准直透镜（一）容差

离轴（mm） 波前（λ） 差值（λ） 轴向移动（mm） 波前（λ） 差值（λ） 倾斜（°） 波前（λ） 差值（λ） 离轴（mm） 波前（λ） 差值（λ）

0。005 0。0961 0。0003 -1 0。0944 -0。0014 0。005 0。0959 0。0001 0。005 0。0961 0。0003

0。01 0。0965 0。0007 -0。8 0。0946 -0。0012 0。01 0。0961 0。0003 0。01 0。0965 0。0007

0。02 0。0972 0。0014 -0。6 0。0949 -0。0009 0。03 0。0968 0。001 0。02 0。0972 0。0014

0。04 0。0985 0。0027 -0。4 0。0952 -0。0006 0。05 0。0974 0。0016 0。04 0。0985 0。0027

0。06 0。0999 0。0041 -0。2 0。0955 -0。0003 0。07 0。0979 0。0021 0。06 0。0999 0。0041

0。08 0。1013 0。0055 0。2 0。0961 0。0003 0。1 0。0986 0。0028 0。08 0。1013 0。0055

0。1 用于倾斜波面干涉仪的准直透镜组和标准球面透镜组装调技术研究(3):http://www.youerw.com/tongxin/lunwen_88657.html