模拟为基础的解决方案中的负载平衡问题英文文献和中文翻译(3)

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使用的时间模型处理很多其他装备希尔思最近的一篇文章中详细介绍（僧侣峰和施马尔富斯2000A）。机器故障的分布和维修时间和数据进行预防性维护从历史数据得。计划到期日地段和特殊地段重点从ERP系统。该模型是由初始化使用中的工作进程内ESS（WIP）分布的晶圆厂。这种分布是OB-禀从MES的晶圆厂。

4.2建模的限制

建模的限制在第2部分，形成一个流程再造striction模型中必须考虑到的。因为恰好有一个面罩固定不变的面具尺寸为SPE太平洋产品和层，它是不可能处理大量的同样的产品和不同的步进电机上的同一层同时进行。可能的口罩，暴露时间和的曝光步骤的数量从ASCII文件中读取在模拟开始时，为了降低运行努力使数据可用。相比改变所有路由文件的模式，这是很容易改变这种文件中。掩膜可用有关的信息被存储在数据结构（列表和数组）被写入在C的编程语言的。使用快速排序算法获得排序的数组，通过访问这些数据结构二进制搜索是相当有效的。我们用另一种ASCII文件，包含信息对发生的最后时间前送晶片一个固定的产品，层和步进。我们实现的数据在C中的结构，允许动态修改这些次模拟运行时间。我们没有明确地考虑返工曝光在我们的模型中的步骤，因为重新工作率小，因为发射前送晶圆。

4.3步进设备的调度规则

我们做过实验，用不同的调度规则踏步机（参见僧侣峰和施马尔富斯2000B）。在当然我们的工作，我们能够验证显示补丁策略。特别步进电机用于处理大量具有非常高的优先级和一个小的晶片数。 AF-后加工步进了很多，我们期待在队列中其他地段具有这些特征（不一定很多从相同的产品和掩模层）。在这种情况下，我们避免形成大量的晶圆列车和德ING考虑更换口罩的缺点。上其他步进电机，我们尽量选择地段的列车用的最多的晶圆中的至少一个特定大于给定阈值的优先级。如果我们发现火车与相同数量的晶片，我们选择的相关培养具有最高的拍品平均成交优先。在过程埃辛的地段一定列车，到达很多相同产品和遮罩层将自动成为一个这列火车的误码率。实施调度规则考虑需要发送提前晶圆，否则一个正确的模型的的瓶颈步进设备的能力，是不可能。如果它是要启动发送预晶片，首先确定是否有步进电机，做规则不需要提前发送晶片火车。如果结果ING步进集不是空的，规则计算保持的处理时间的列车，这是处理步进电机的设置。规则决定了步进最小的剩余处理时间。如果这个时间考虑可接受的火车，火车等待直到所选步进自由处理的火车。其他明智的，它是要推出前送晶圆第一步进。

4.4使用的预测模型

在这项研究中，我们将探讨如何转让若干某些步进亚组的产品将影响福TURE系统的行为。因此，在一定程度上，有必要考虑将被释放到相关在未来时期的晶圆厂。生产计划为我们提供了在未来三年对未来的很多版本的信息。我们的模型中包括这些地段。对于这个始建目的——ERP系统的接口。基于关于这些信息，所需的处理流程新产品还包括到模型中。

4.5模型的验证和核查

该模型的该核查和验证过程中是星，满分在以迭代的方式中进行的。该模型是第一的使用一个有简化了的假设所的数量的，对于验证其中该模型的真正的的特点进行了已知的。后这方面的发展阶段中，我们使用的跟踪和动画在责令，，以调查是否该模型的工作原理作为打算。在一个第一次迭代中，我们检查了有效性的公式。要做到这一点，我们比较了“为曝光的”的时间“（数据从MES）与对于某些地段的的计算出的时间。然后，我们比较了真正的的的步进曝光机的吞吐量（作为报告的在MES中）与基础计算的通式。所观察到的的准确度率为95％。中将数据从为的晶圆厂的的收集和分析的仿真模型，被检测到的有数据错误的一个数目并经过调整。在第二步骤中中中，我们使用了从的报告生产的控制部门在的为了，以验证，的模型。在模拟中的利用率的的步进机模型作为相比，与在在晶圆厂中的示出了准确度的90％以上。