MEMS技术基于电润湿效应的液滴振动研究
关键词 电润湿 液滴振动 液滴蒸发
毕业论文设计说明书外文摘要
Title EXPERIMENTAL STUDY OF DROPLET OSCILLATION UNDER AC ELECTROWETTING
Abstract
This paper studies the vibration of the droplet under alternating current (ac) wetting and the influence of droplet vibration on droplet evaporation.In this paper, by using the combined method of theoretical analysis and experimental research, analyzing the droplet vibration resonance frequency and the theoretical equation of droplet evaporation。Electrowetting chip is prepared by using MEMS technology。This paper emphatically studied the whole process of the droplet vibration under the condition of alternating current (ac) wetting effect,and then observed the droplets evaporation without applying an electric field on the surface hydrophilic and hydrophobic surface by using CCD camera and the droplet evaporation characteristics under an alternating electric field。
Keywords electrowetting, droplet oscillation,droplet evaporation
目 次
1 引言 1
1.1 本文背景 1
1.2 国内外发展综述 1
1.2.1 液滴的电润湿 1
1.2.2 液滴的电润湿效应 2
1.2.3 电润湿的应用 3
1.2.4 水滴蒸发的应用 7
1.3 本文研究内容 8
2 实验系统及处理方法 9
2.1 实验装置及系统 9
2.1.1 电润湿实验系统 9
2.1.2 实验装置及参数设置 9
2.2 实验所需芯片 10
2.2.1 MEMS加工工艺 10
2.2.2 MEMS芯片制备 10
2.3 实验测量方法及数据处理 10
2.3.1 实验测量方法 10
2.3.2 数据处理 11
2.3 本章小结 11
3 交流电润湿作用下的液滴振动研究 12
3.1 液滴的交流电润湿效应 12
3.1.1 液滴的受迫振动研究 12
3.2 液滴的共振 12
3.2.1 不同频率下的液滴振动形态 13
3.2.2 交流电压对液滴振荡的影响 15
3.3 本章小结 15
4 电润湿作用下的液滴蒸发 16
4.1 蒸发机理 16
4.2 未施加电压时液滴的蒸发 18
4.2.1 亲水表面上液滴的蒸发 18
4.2.2 疏水表面液滴蒸发的实验 19
4.2.3 施加油膜的液滴蒸发 19
4.3 交流电润湿作用下液滴的蒸发 20
4.3.1 交流电润湿下液体的蒸发 20