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1 开题依据1.1 研究背景随着现代工业的发展，对各种机械设备零件表面性能的要求也越来越高，在高速、高温重载、磨损、腐蚀介质等条件下工作零件，常常因其表面局部损坏而使整个零件失效报废。表面涂层技术是采用一定的工艺方法，在零件表面制备出优于本体材料性能的表面功能薄膜或涂层，用少量材料赋予零件或构件耐高温、耐腐蚀、抗磨损、防辐射等性能，起到即使用大量昂贵的整体材料也难以起到的作用，可以充分发挥基体材料和膜层材料的潜能，大量节约了资源和能源，降低生产成本，因此，表面涂层技术作为表面工程学科的重要组成部分，成为国际材料科学研究的热点之一。常用的表面涂层技术有等离子喷涂(APs)、溶胶一凝胶(SoI-Gel)、化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)等方法。46934
目录
1 开题依据 1
1.1 研究背景 1
1.2 研究目的及意义 1
2 文献综述 2
2.1 PVD简介 2
2.2 PVD涂层技术 2
2.3 PVD刀具涂层设备 2
3 方案论证 4
3.1 本课题介绍 4
3.2 PVD刀具涂层设备布局方案设计 6
3.2.1 方案一 6
3.2.1 方案二 7
3.2.1 方案三 8
4 毕业设计（论文）内容 8
4.1 毕业设计内容、具体工作 8
4.2 目的与要求 9
4.2.1 课题设计内容 9
4.2.2 课题应完成的具体工作 9
5 工作进度安排 9
6 参考资料 10
PVD涂层装备整体结构设计
PVD技术出现于二十世纪七十年代末，制备的薄膜具有高硬度、低摩擦系数、很好的耐磨性和化学稳定性等优点。最初在高速钢刀具领域的成功应用引起了世界各国制造业的高度重视，人们在开发高性能、高可靠性涂层设备的同时，也在硬质合金、陶瓷类刀具中进行了更加深入的涂层应用研究。与CVD工艺相比，PVD工艺处理温度低，在600℃以下时对刀具材料的抗弯强度无影响；薄膜内部应力状态为压应力，更适于对硬质合金精密复杂刀具的涂层；PVD工艺对环境无不利影响，符合现代绿色制造的发展方向。目前PVD涂层技术已普遍应用于硬质合金立铣刀、钻头、阶梯钻、油孔钻、铰刀、丝锥、可转位铣刀片、异形刀具、焊接刀具等的涂层处理。随着PVD涂层技术的发展，人们开始开发人们在开发高性能、高可靠性涂层设备也渐渐投入了大量的精力论文网。
1.2 研究目的及意义
我国PVD刀具涂层技术的研发从80年代初期开始，并在80年代中期与90年代中取得了还不错的成绩。还研制成功了中小型空心阴极离子镀膜机，并研制了多种涂层设备。但由于PVD生产技术上的不过关,多数涂层设备的性能并不是很理想，无法保证涂层质量，市场经济效益无法满足，因此大多数企业未对PVD涂层技术做进一步的深入研究。目前我国涂层技术无法与国外相比。总体来讲，我国与国外PVD涂层技术相比完全不是一个档次，国外涂层技术已经赢在了起跑线上，而我国在研发方面几乎空白，无法形成有效的产业链。