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倾斜波面干涉系统点源阵列选取的数学模型研究(3)
易行且效果不错的方法。但在对自由曲面的测量中,由于自由曲面可能有着较大的表面梯度
变化,目前市面上的 CCD不一定能够符合要求;而且相位恢复法中必须时被测面成凹形,在
实际使用中经常受限,种种原因导致了相位恢复法普遍精度不够,无法实现高精度测量。
(2)相位测量偏折法
相位测量法中除了相位恢复法,还有相位测量偏折法,该方法目前有着较为广泛的运用。
相位测量偏折法是根据投射光线在被测物表面反射后反射光线发生的变化来进行测量。相位
偏折测量法一般需要一个标准平面的反射光相位与被测面的反射光相位对比,通过计算得出
被测面与标准面的偏差,再由这些不同反向得出被测面面形。相位测量偏折法结构简单,且
在实际中容易实现。而在生活中,这种方法也并不为人所陌生。比如我们的眼睛,便是根据
同一个物体的反射光在左右眼里相位的不同来判断远近。目前主流的相位测量偏折法主要有
反射光栅摄影法、条纹投影法以及SCOTS法。
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