光栅制作及衍射光栅测量中的误差讨论 (3)
的相干光。另一类称为分波面法 ,该类方法是将同一光波的波面一分为二。
当前，几种最具代表性的全息光栅实验室制作方法[8]
分别是:马赫－曾得干
涉法、迈克耳孙干涉仪法、改进型杨氏双缝干涉法和分振幅双光束干涉法[9]
。 2．2.1马赫-曾得干涉法
马赫-曾得干涉法是一种采用分振幅法产生双光束干涉的光路设计。它主要
由两块分束镜
四个镜面中心位置等高且平行与光轴，互相平行，使光路Ⅰ和
光路Ⅱ构成一个平行四边形。激光器光源经分束镜1 BS
分光后得到Ⅰ和Ⅱ两束相干光，Ⅰ光线和Ⅱ光线在2 BS
后相遇发生干涉，在屏P上形成等距干涉条纹。该方案光路图如图2.2 所示这样，光路Ⅰ和光路Ⅱ光程差几乎相等，这就满足了干涉所需要的条件。