3)基于光栅的移相干涉方法。
1.3.1  基于棱镜分光的移相干涉方法
在基于棱镜分光的移相干涉方法中,在 1984年,R. Smythe 和R. Moore 提出了一种基于
偏振分光移相的干涉仪[7]
,其基于泰曼—格林干涉系统。在这个系统中,利用λ/2波片、分束
镜、偏振分束镜将光线分为四组,每组之间相位相差90°,并利用 4个CCD相机分别采集干
涉图像。在 1991年,Chris L. Koliopoulos 也提出了类似结构的干涉仪[8]
,同样采用了四步移
相的方法,他使用了偏振光学元件来保证相位差的准确性,这样在较强环境振动中也可以获
得高对比度的干涉图像。在 2003年,N. R. Sivakumar 等人对迈克尔逊干涉仪进行了改进,利
用分束镜分光和波片移相,使四束光线光程几乎相等[9],确保了测量精度。在 2005年, Hagyong
Kihm 和 Seung-Woo Kim 设计了一种移相器,即综合了分束镜、波片和偏振分束镜的一种特
殊的棱镜,使入射光通过它后被分成四束光线,并且使得光束之间的相位差为 90°,然后同时
被一个 CCD 相机拍摄,这就解决了拍摄时间不同步、CCD 之间光电性能不一致或光学元件
不一致而引入误差的问题[10]。在2007年,James E. Millerd 还发明了一种运用在斐索型干涉仪上的空间移相器,实现同步移相干涉[11]
。由于斐索性干涉仪是共光路干涉的系统,可以自行消除由光学元件带来的波面畸变,提高了测量准确性。在 2009 年,Liang-Chia Chen 等人利用
偏振分束镜和棱镜的组合,来获得三幅分别具有 90°、180°和 270°相移的干涉图像,加上 0°的干涉图像进行分析处理,用以检测三文面形[12]。在国内,北京工业大学的刘世炳、贺雪鹏利用分光镜设计了一套同步干涉测量系统[13]。而上海光学精密机械研究所的曾爱军等人,在Chris L. Koliopoulos 等一些人研究的基础上,发明了一种结构简单、控制精确的新型空间移相
器[14]。
1.3.2  基于相位掩膜板的移相干涉方法
在基于相位掩膜板的移相干涉方法中,在 2004年,James E. Millerd 等人提出了利用相位掩膜板来获得相移的方法 。在掩膜板上有若干组移相单元,每组各有四个移相单元,可在
各组光束中分别引入0°、90°、180°和270°的相移。通过CCD 相机并被拍摄之后,再对像素
进行重新组合,获得四幅干涉图像。
1.3.3  基于光栅的移相干涉方法
基于光栅的移相干涉方法首先来源于1983年Osuk Y. Kwon 提出的一种干涉仪[16]。在这种干涉仪中利用了衍射光栅使入射光产生衍射,获得了-1 级、0 级和+1 级的衍射光,且不同
的衍射级次具有不同的相位。在这里,光栅既起到了衍射分光的作用,又起到了产生相位差
的作用。 Andrea Hettwer 和Jochen Kranz 等人提出了一种基于泰曼—格林干涉仪的系统[17, 18]。
该系统也使用了光栅来进行分光和移相,并利用三步移相算法来对原来的波面进行复原。D.
G. Abdelsalam等人利用相位龙基光栅进行分光, 获得了四束不同相位的相干光场[19]
。 在国内,也有钱克矛等人利用相位龙基光栅来获得四幅恒定相位差的干涉图,由此对被测物体的相位
分布进行计算,从而实现在动态过程中对相位进行实时测量,并在马赫—曾德干涉系统和散
斑干涉系统中成功应用此方法进行了测量工作[20, 21]。
1.4  本课题的主要工作
本课题主要对移相干涉技术进行研究,学习各种产生移相的方法并比较其特点,然后根
据本课题的实际要求,选择合适的移相方法,研究一个具体的移相干涉测试系统,并利用
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