目录
摘要I
Abstract..II
目录III
图清单..V
表清单..V
1引言...1
1.1研究背景..1
1.3研究意义及创新..2
1.4二维自动化多通道检测平台的总体规划..2
2二维自动化多通道检测平台的硬件设计...4
2.1二维自动化多通道检测平台的结构设计..4
2.2十字滑台4
2.3步进电机6
2.4步进电机驱动器..9
2.5开关电源..10
2.6本章总结..10
3二维自动化多通道检测平台的软件设计..12
3.1二维自动化多通道检测平台的控制原理12
3.2二维自动化多通道检测平台的软件控制12
3.3本章总结...15
4二维自动化多通道检测平台的位移精度及应用...16
4.1二维自动化多通道检测平台的位移精度实验...16
4.2二维自动化多通道检测平台的误差分析17
4.3二维自动化多通道检测平台的应用..18
4.4本章总结..19
5总结和展望...20
5.1总结20
5.2展望20
参考文献21
致谢.22
1 引言 1.1 研究背景 随着科技的快速发展,自动检测技术逐步发展并运用于各个领域。自动检测是指利用计算机控制对部件、设备和系统进行性能检测、故障诊断、连续监测和故障定位 [1]。二维位移平台作为精密仪器的关键部件,在医疗器械、扫描电子显微镜和微电子技术的载物平台方面有较多的应用。将自动检测技术与二维位移平台结合形成二维自动化检测平台,实现自动检测技术在高精定位领域的应用,使二维自动化多通道检测平台具有精度高、检测效率高、检测结果准确率高等特点。它能够替代人工检测,缩短产品的生产周期,为企业节省大量的成本和时间。性能优良的二维自动化检测平台在各个行业都具有良好的应用前景,在替换模具和检测探头后,可以满足各类相关产品的检测需求[2]。 目前,实验室里的部分检测实验以人工操作为主,例如利用拉曼光谱仪进行的检测实验。实验人员在操作过程中存在着定位精度低,遗漏检测点,或者重复检测等问题,对实验结果的准确性造成很大的影响。实验仪器的检测平台相当于二维位移平台,使用二维自动化检测平台取代实验仪器的检测平台,既能提高实验检测结果的准确性,又能为实验人员减少工作量。