1.它不需要推动大口径的参考镜，可以简化参考镜的机械结构;

    2.在测量中，系统的机械部分保持不动，消除了由于硬件移动而引起的误差，

        进一步提高了测量精度，对于大尺寸干涉仪，这个特点是具有突出优势的;

    3.可以通过软件消除寄生条纹的影响[4]。

1．2  论文的主要内容

本文主要做的工作: 

1.移相干涉术的介绍以及实现移相的方法。

2.移相算法的研究。

3.波长调谐移相干涉仪的一维时域傅里叶变换移相相位标定方法。

4.实验进行基于时域傅立叶变换波长移相算法的标定

2  移相干涉术

移相干涉术是一种对物体相位信息进行测量的干涉技术，它使相干的两个波面中的一个波面的相位做阶梯式或连续式变化，当相位变化到某特定值时对干涉场进行图像采集，通过计算这些具有不同光强分布的干涉图，可获取被测物体的波前信息。文献综述

移相干涉的概念最早出现在上世界六十年代的电子工程领域，用来确定两个电信号的相位差。1974年，Burning和他的同时首先将该技术用于光学测量，完成了对透镜质量的检验，这被认为是一项技术的发端，在随后的二十年中，人们对其进行了广泛的研究，提出了许多新的移相实现方法和相位计算方法。至今，PSI已经成为干涉计量中的一种常规方法，并被广泛应用在各个领域。移相干涉测量技术是近代光干涉技术的核心技术，以其高精度、高空间分辨率，集光机电算于一体等特点，在现代数字激光干涉仪中得到了广泛的应用。三十多年来，随着光电技术、计算机技术和激光技术的迅速发展，移相干涉测量技术的原理、实现手段、算法和移相模式也不断发展，各种新的研究成果和应用层出不穷。自七十年代以来，移相干涉测量技术不断的发展进步，主要体现在这样五个方面:(1)移相方式的转变。由利用压电陶瓷堆(PZT)驱动参考镜实现移相的传统移相干涉测量技术演变为通过改变激光器输入电压的大小来控制激光的波长的变化完成移相的波长调谐移相干涉技术。(2)移相模式的更新。随着图像采集技术的成熟，断续阶梯式采样模式发展为连续斜坡式采样模式，这种方法使两相干光束之间光程差作线性匀速变化，采样过程中光强是连续变化的，采样时间短，可以减小噪声的影响，即使引入噪声也更易于分析。(3)移相算法的演进。用于同步检测的傅立叶级数算法以及针对降低移相器误差的三步法、四步法、四步平均法、Carre法、重叠四步平均法等。(4)测试对象的转变。从测试口径100mm增加到口径600mm的元件[5-7]。(5)测试条件的拓展。干涉仪从化境稳定的实验室走到测试环境恶劣的户外场地，从近距测量发展到远距离测量。