非破坏性是XPS最为突出的优点，由于软X射线对大部分材料都是友好的，样品可以承受比进行XPS分析长得多的X射线照射时长，因此大多数样品在接受XPS分析后还能保留表面原状，从而进行进一步的分析或实验。此外，XPS的另外一个优势是化学键的状态获取更为简单。这是因为由原子电子态的变化引起的结合能的变化（也称化学位移），如原子的价电子和原子间的距离，通常都大于俄歇电子能谱分析（AES）所测得的化学位移[17]。来;自]优Y尔E论L文W网www.youerw.com +QQ752018766-

                 图2。1  XPS原理图                            图2。2  XPS谱图

2。1。2  激励源（扫描微焦点X射线源）

    扫描微焦点X射线源是一个可以在样品上放射单色光束的X射线源。目前，使用最为广泛的是Al Kα射线源和Mg Kα射线源。X射线束的直径能够在几十到几百µmφ之间设置，扫描范围可以任意改变，可以保证样品可以在最为合适的区域进行分析。基于此功能的还有二次电子图像观察（SXI：扫描X射线图像），如图2。3。该功能可以进行迅速、精确的分析定位设计。除此之外，它支持多点同时分析、线分析、大面积的测量和分析。