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真空吸盘的产生由来已久，它设计的初衷是用来夹持非金属工件的，最早应用于机械加工的磨床上，因为在加工过程中要求吸盘的夹持力较大并且不能在真空条件下工作，只能采用真空吸盘来夹持工件。这种真空吸盘的主要构造是中间部分的孔，它是一个多孔的平面，在工作过程中通过真空吸盘内部的小孔将吸盘与工件之间的空气吸出，达到负压，使工件与吸盘吸附固定在一起，这样就能使工件得到加工或运输。工作结束后停止气动回路对吸盘的气压供给，使工件与吸盘之间的气压值达不到支持吸附工件的效果，工件就会被释放，从而完成这一过程。在这种加工过程中使用的吸盘大多数为多孔陶瓷吸盘[4-5]，其在硅片为加工元件的精密磨削加工过程[6]中被广泛采用。25597
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虽然目前真空吸盘在加工运输包装工件为硅片等薄板件过程中被广泛使用，其能够不受工件几何形状和材料的影响，但是它所拥有的缺点也是毋容置疑的。传统的真空吸盘在吸附硅片表面时都会产生不同程度的局部变形，在加工结束后工件会产生弹性恢复，但是如若对吸盘的真空度控制不恰当的话也会产生塑形变形，使工件无法恢复正常从而对实际生产造成损失。此外即使硅片产生了弹性恢复但是其平整度相对于吸附前而言也有所下降，加工过程中也会有粉尘或颗粒物存在在吸盘和工件之间，产生局部变形，对工件的正常加工或运输产生不利的影响。针对真空吸盘这一状况，许多公司都对真空吸盘进行了改进。论文网
Applied Material公司就通过在吸盘与硅片之间安装橡胶垫并且对应于吸盘上的小孔在橡胶垫上也贯穿了许多小孔，这样在吸力的作用下，工件的这种变形问题得到了解决同时工件也不会与吸盘之间发生相对位移，提高了工作效率。
日本的Une和Kunyoo[7-9]也设计出了一种新型的真空吸盘，这种真空吸盘的表面不是采用多孔的设计思想而是运用均匀分布的圆柱，把它命名为圆柱销式吸盘。这种形式的吸盘几乎能够使工件与吸盘吸附的表面达到完全的平整状态，因为工件只与圆柱表面相接触并且接触表面十分光滑，这也可以减少灰尘颗粒物等对工件平整的影响。反复的实验表明这种圆柱销式吸盘比传统的真空吸盘的平整化效果高几倍，原因就在于这种新型吸盘拥有巨大的吸附面积。这种吸盘不仅能够应用于超精密的加工磨削，也适用于化学机械的抛光。
另外，Strasbaugh公司开发了一种新型吸盘，这种吸盘可以分区进行真空吸附，当装夹直径较小的工件时，真空吸盘的内圈工作，进行吸附，而外圈则处于不工作的状态，当装夹直径较大的工件时，两个区域同时工作。这种吸盘可以用于加工不同尺寸大小的工件，提高了工作效率。
综上所述，介绍了国外近期真空吸盘发展的情况。在国内，到目前为止，真空吸盘的使用还停留在很初级的阶段，仅仅在一些传统夹持方法无法奏效的场合采用真空吸附装置，有关薄板件材料的加工运输过程中，吸附装置的改进研究也未曾有重大进展，所以这方面的研究是必须的，在实际生产过程中是需要这种理论支持或参考的，我们的研究也是符合这一发展趋势的