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内圆切片机的发展国外得切片技术在七十年代末就已经发展成熟,在八十年代中期 ,大部分切片机都可加125mm (5英寸)以上大直径单晶,在八十年代中期以后,切片技术发展到鼎盛时期,各种多功能全自动切片机相继商品化。就切片机的功能而言,已经相当齐全,而且复合化,切片方式也多种多样［3,4］。30461
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内圆切片机的结构原理
内圆切片机工作时要完成三种基本运动，一是刀片的高速旋转运动， 二是工件按要求的尺寸规格进行送料的进给运动以及刀片相对于被切割材料所作的切割运动［5］。另外在切割过程中所切硬脆材料块要将其退出机床切割部分，这一退料运动是切片机的辅助运动。不同类型的切片机就是采用了不同类型的机构以及机构布局实现这三种基本运动和辅助运动［6］。
内圆切片机是由主轴系统，进给系统，控制部分，冷却系统等部分组成。刀片本身是非常薄的片状物，自身刚性并不高，但如果将其固定在切片机的刀盘上，通过张紧刀片，就能确保刀片半径方向的张力。则刀盘的高速旋转也就构成了切割系统。机架部分是各组成部分的主体,它将各组成部分有序合理的组合到一起，使各部分协同工作，完成所需要达到的工作要求，它必须考虑到应具有使切割部的震动保持在最小程度的刚性。主轴工作状态是高速旋转,其需要有稳定的旋转精度,以保证加工效率及加工质量，并且要易于文护。震动、噪声等要小，对张紧刀头的动负载及切割负载要有足够的刚性。其支撑定位使用高精密向心推力轴承或气体轴承。以达到刚度，抗震性等的要求。刀盘是安装刀片的部分,主要作用是使刀片张紧，它安装在主轴端部。刀盘是用特殊材料制作的，在刀头形状设计及热处理加工中均需苦心琢磨,以使刀片具有足够的张力,而且要保持旋转时的精度。在切割中粉末及冷却液的排除效果也和刀盘的形状有很大关系,设计时要考虑刀头罩的形状以及稳定切割所需的条件。进给系统是工件切割进给及退刀部分，工件分度进给部分可依晶锭切割厚度将晶锭送进,保证稳定的高精度切割。控制部分是机器各驱动及程序控制机构,是由微型计算机实施控制的。冷却系统是进行稳定切割的重要因素之一，其对刀片的寿命以及切割质量有一定的影响［7,8］。论文网
内圆切片机的工作原理
内圆切片机的工作原理：内圆切片机的刀片夹持在刀盘间，刀盘安装在主轴前端，通过主轴带动刀盘从而实现内圆刀片的高速旋转。被切割材料由工作台上的夹具夹持，使用步进电机带动丝杠螺母副按预置量进行步进送料，夹具安装在工作台上，实现被切割材料的进给运动。工作台上的调晶机构相对于主轴轴线方向向前，后退动作，实现被切割材料相对于内圆刀片刃口进料、退料辅助运动，可以很方便将已切成的一叠硬脆材料块从刀盘内取出。主轴系统安装在摆动支架上，摆动支架在切割油缸驱动下作往复上下运动，实现内圆刀片相对于硬脆材料块的切割运动。这样，一方面内圆刀片高速旋转，一方面内圆刀片随摆动架作摆动切割 ， 即完成一个切片循环，这就是“摆动切割”方式［9］。