其基本原理步骤是：如图1.6所示，在泰曼－格林干涉仪上使用短相干光源，控制干涉仪两干涉臂的光程相匹配得到对比度良好的干涉图。调整平面参考镜反射面逐渐增加参考光的光程，当参考面R与被测平板前表面A处于干涉仪的等光程位置时，由R面反射的参考光和由A面反射的测试光干涉，条纹对比度达到最好。而平板后表面B的反射光与参考光的光程差超出光源的相干长度，因此该两束光不会产生干涉条纹；同时，若平板的厚度也大于光源的相干长度，则A面和B面的反射光也不会产生干涉；因此CCD采集到仅为参考光和携带A面面形信息的测试光干涉产生的条纹图，避免了干扰条纹的产生。

图1.6  泰曼—格林干涉仪示意图

测量中CCD采集得到的是单幅干涉图，为了从单幅干涉图中提取面形信息，利用虚光栅移相叠栅条纹法处理即可提取单幅干涉图的波面信息。