1963年，R.M.White和Aakaryan各自验证了脉冲激光束在固体和液体中激发超声波的方法[1]，而关于检测激光超声的散斑技术也不断发展起来。其发展经历了两个阶段[2]：第一阶段1965-1978年，以纯光学的相干计量技术为主的发展阶段。在这一时期，激光光源提供的光场的优良相干性使相干测量带来的潜能被充分发掘，形成了一系列纯光学的全息散斑计量方法。对计量机理的解释，主要是用传统的干涉计量理论，以几何光学光程差的定量分析为基础，辅助以波动光学和统计光学的定性解释。第二阶段是由70年代末期微电子技术的发展开始的，是以光电结合的精密计量技术为主的发展阶段。在这一时期，计算机硬、软件技术的不断普及及其与纯光学计量技术的结合，使全息散斑计量技术向着高精度、高速度及自动化方向发展。人们对全息散斑计量机理的认识也发生了深刻的变化，发展出了用统计学方法解释的新理论，该理论更适合描述空间随机分布光场[3]。67449

1968年，Bruch和Tokski提出了散斑照相技术，Archbold[4]和Y.Y.Hung等人发展了这个方法。1970年Leendertz[5]提出了散斑干涉技术，在这一方法中，将物体无激光激发和有激光激发两种状态的图像加以对比，即可得到表面位移的信息。基于这种想法，又提出了剪切散斑干涉技术。后来，经过Y.Y.Hung和Liang的改进成为一种非常有用的方法[6]。1971年Buttes和Leendertz利用光电子器件观察散斑干涉条纹，这种方法就称为电子散斑干涉法[7]。1874年Pedescn等把硅靶摄像管作为光电探测头应用在ESPI中，提高电子散斑干涉法系统对光的敏感度[8]。1976年Lokberg等把全息干涉术中的参考光位相调制技术引入电子散斑，使之能测量振动的位相分布[9]。1978年，Jones等利用双波长电子散斑干涉法测量了物体的轮廓。 

1981年，Jones等系统地对电子散斑干涉中各种参数的选取和优化作了详细报道[10]。这样，几乎用了十年的时间，人们完成了对电子散斑技术的基本原理和它的性质的研究。提出了改善ESPI条纹质量的系统参数选取方法，为以后的研究和应用打下了基础。论文网

进入八十年代，电子技术、计算机技术、激光技术的发展促进了散斑计量技术的发展，高速存储器加快了数字图像的存取速度，计算机的高速运算能力使图像处理的复杂运算成为可能。把这些技术应用在电子散斑干涉中，就出现了数字电子散斑干涉术。它通过把物体变形前后的散斑图量化为数字图像，存贮在计算机中，由计算机用数字的方法对它进行运算，从而在监视器上再现干涉条纹图。数字散斑干涉减小了电子散斑的噪声，大大提高了干涉条纹的清晰度。1980年Nakadate[11]首次实现并得到512×512列阵的数字散斑干涉条纹，但直到1984年才由Creath正式提出来并作为一种新技术加以推广[12]，数字图象列阵也逐步发展到今天512×512或1024×1024，灰度等级发展到256，而且以微机和图像板取代了原始的大型数字图象处理系统。

20世纪90年代初期，人们开始将Lamb波技术应用于复合材料的缺陷检测。英国国防与评估研究机构的Percibval和Birt则研究使用两种基本的Lamb波传播模式来检测材料缺陷[13,14]。20世纪90年代末，美国橡树岭国家实验室的Stephen W.Kercel 等采用贝叶斯参数估计对传播的多模式Lamb波进行了有效的分离，并对缺陷信号进行了成功识别[15]。

在国内，l989年天津大学首次研制成功了电子错位散斑(或称电子剪切散斑)干涉系统，随后又开发了DSSPI系统。1992年，中国科学技术大学将半导体激光器成功地应用于电子散斑干涉中，并由可切换的双频光栅实现了错位，1993年西安交通大学研制了光纤电子散斑技术干涉系统。2005年洪友仁[16]等人综述了剪切散斑测量技术及其成功的应用领域。倪晓武等采用光纤耦合反射式光束偏转技术探测了0.25mm铁贴片中Lamb波的瞬态波形，研究激光激发Lamb的特征及发展过程。