微电子机械系统国内外研究现状和参考文献
其中文献[5]介绍了国内的一种MEMS冲击加速度锁定开关[5]，该开关采用悬臂梁结构，可以在(1000～5000)g的冲击加速度作用下闭合，闭合响应时间小于60μs；开关利用静电耦合原理实现自锁定。但是当这类开关闭合加速度阈值小于迫击炮弹落在硬目标的冲击载荷时，开关可能在导通时意外中断，威胁引信电源和电路安全。此外基于静电原理的原理，当引信发射时自锁是不足以承受高过载冲击的，这可能会导致武器系统的瞎火等故障。而国外，美国在MEMS引信的研究水平要领先于其它国家，其发展非常迅速，甚至在一些引信类型中取代传统的机械式引信。其中文献[6]主要介绍了美国的一个利用集成MEMS机械冲击的传感器[6]，该传感器的功能结构是一个加速度冲击开关论文网，主要由质量块、弹簧和闭锁梁组成；设计闭合阈值为360g-720g。该开关结构简单，可以承受较大的冲击载荷。实验表明，在25000g冲击载荷下，无明显的破坏现象；在25000g-30000g的冲击下，主要是弹性梁和闭锁梁会发生破坏，测试中结构发生这两种破坏的概率分别是5/40、2/40。
参 考 文 献
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