现在国内外对亚表面检测的方法总体分为两种:破坏性检测方法和非破坏性检测方法。

破坏性检测方法就是通过一定手段将待测光学元件部分或全部破坏,暴露出需要检测的部位,然后采用相应的方法测量、计算出损伤的具体信息。该方法最大的局限性在于,待测的光学元件会受到损坏,但是现有阶段,该方法在材料的质量检测中,依然是不可或缺甚至是不可替代的检测方法[16]。常见的破坏性检测方法主要有角度抛光法、Ball dimpling法、HF恒定化学蚀刻速率法以及磁流变斜面抛光技术等等。常见的非破坏性检测方法有全内反射法、共焦显微成像法、激光调制散射技术、光学相干层析(OCT)技术等等。对比破环性检测方法,由于非破坏性检测方法有非常大的优势,例如在检测精度、检测口径、检测效率等方面,同时该方法可以保证元件不受损伤,因此,非破坏性的检测方法,慢慢成为了主流的方法。77162

参 考 文 献

[1]W。 Oliver, H。 Brug。 Novel approaches to generate aspheric optical surfaces[J]。 SPIE, 1999,3782:170-180。

[2]王春慧,光学表面亚表层损伤检测技术研究[D]。西安:西安工业大学,2010。

[3]王昌。 激光惯性约束核聚变(ICF)最新进展简述[J]。 核科学与工程, 1997(3):266-269。

[4]代万俊, 张崑, 张鑫,等。 神光-Ⅲ原型装置全光路系统波前测量方法[J]。 中国激光, 2011(2):45-47。

[5]向勇, 任杰, 白满社,等。 微晶玻璃亚表面损伤深度测量技术及控制试验研究[J]。 航空制造技术, 2015(19):18-21。

[6]王洪祥, 李成福, 朱本温,等。 光学元件亚表面缺陷的损伤性检测方法[J]。 强激光与粒子束, 2014, 26(12):129-133。

[7]李圣怡, 王卓, 吴宇列,等。 基于研磨加工参数的亚表面损伤预测理论和试验研究[J]。 机械工程学报, 2009, 45(2):192-198。

[8]王卓, 吴宇列, 戴一帆,等。 光学材料研磨亚表面损伤的快速检测及其影响规律[J]。 光学精密工程, 2008, 16(1):16-21。

[9]朱晓娟。亚表面损伤测量技术中全内反射粗定位系统的研究[D]。南京:南京理工大学,2015。

[10]李改灵,吴宇列,王卓等。 光学材料亚表面损伤深度破坏性测量技术的实验研究[J]。 航空精密制造技术,2006,42(6):19~22。

[11]高平。光学玻璃研磨加工后亚表面损伤研究[D]。南京:南京航天航空大学,2012。

[12]李改灵。 光学材料磨削加工亚表面损伤测量的理论与实验研究[D]。长沙:论文网国防科技大学,2006。

[13]娟娟,田爱玲,王春慧,王红军,刘丙才。光学表面亚表层损伤检测和损伤规律研究[A]。第十八届十三省市光学学术会议论文集[C]。上海:上海市红外与遥感学会、上海光学精密机械研究所,2010。 

[14]曾楠, 何永红, 马辉等。 应用于珍珠检测的光学相干层析技术[J]。中国激光, 2007,34(8):1140~1145。

[15]郁道银,谈恒英等。工程光学[M]。北京:机械工业出版社,2006,2(2):338~343。

[16]王卓。光学材料加工亚表面损伤检测及控制关键技术研究[D]。长沙:国防科技大学,2008。 

[17]王立宇。OCT系统研究[D]。长春:长春理工大学,2008。

[18]刘健, 马占龙, 王君林。 光学元件亚表面损伤检测技术研究现状[J]。 激光与光电子学进展, 2011(8):15-21。

[19]田爱玲, 王会婷, 娟娟,等。 抛光表面的亚表层损伤检测方法研究[J]。 光子学报, 2013, 42(2):214-218。

[20]邓燕, 许乔, 柴立群,等。 光学元件亚表面缺陷的全内反射显微检测[J]。 强激光与粒子束, 2009, 21(6):835-840。

上一篇:光纤延迟线技术研究现状
下一篇:钢板尺寸测量系统的研究现状

纳米二氧化锆表面改性的研究现状

液相等离子体电解技术在...

TC4钛合金表面改性研究现状

国内外对频率选择表面的研究现状

工业生产线状态检测技术国内外研究现状

Lamb波传播与检测理论国内外研究现状

激光雷达对障碍物检测国内外研究现状

网络语言“XX体”研究

新課改下小學语文洧效阅...

老年2型糖尿病患者运动疗...

张洁小说《无字》中的女性意识

互联网教育”变革路径研究进展【7972字】

安康汉江网讯

LiMn1-xFexPO4正极材料合成及充放电性能研究

我国风险投资的发展现状问题及对策分析

麦秸秆还田和沼液灌溉对...

ASP.net+sqlserver企业设备管理系统设计与开发