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80年代半导体激光二极管技术日趋成熟，开始应用于中、短程测距雷达，它具有体积小、重量轻、结构简单、使用方便、对人眼安全、便宜等一系列优点。90年代国外开始发展半导体激光雷达，在中、短程激光雷达应用方面有取代YAG激光雷达的趋势。近年来又发展了一种便携式、对人眼安全、无合作目标、低价的适用于家庭的半导体激光测距仪，既能作为望远镜又具有测距功能。如1996年美国Bushnell公司推出了测距能力400码的400型小型、轻便、省电、对人眼安全、低价的LD激光测距仪Yardage400，己被评为1997年世界百项重要科技成果之一；1997年Bushnell公司在Intemet网上又推出测距能力为800码的800型激光测距仪；1998年美国Taseo公司测距能力为800码的摄像机型Lasersite LD激光测距仪。随着技术的不断进步，不少专门从事该设备研制的公司如雨后春笋般涌现，应用范围不断扩大，半导体测距仪向集成化、小型化方向发展。例如，leica公司的VICTOR系列，如图1.1所示，还配备电子罗盘及倾角仪，测程>lkm，重量1.2kg。
图1.1 leica公司的VICTOR系列
据报道，2004年美国海军陆战队向Leica公司定购了500套微型测距机，测程lkm,重量仅293克。另一种就是将半导体测距仪和光学瞄准镜、夜视等设备组合，具有测距和瞄准双重功能，如果配有弹道计算机，可根据距离信息计算弹道高，修正风偏，给出准确距离分划。例如美国SACMFCS II轻武器通用模块火控系统，如图1.2所示，就具有这样的功能，据报道其测距能力大于2km。
图1.2 SACMFCSⅡ轻武器通用模块火控系统
国内样机的研究始于20世纪80年代，是在原固体、气体激光测距机基础上发展起来的。目前基础技术已具备，主要是解决工程应用问题，开发各种应用产品。航天科工集团8358所研制出测程200m，精度0.5m，数据率100Hz的激光测距机。中科院上海光机所研制出便携式激光测距机，对漫反射水泥墙的测距达100m，采用300MHz计数方式，测距精度0.5m，重复频率1kHz。中国计量学院信息工程系光电子所与国外合作开发了低价、便携式半导体激光测距机，作用测距1km，精度<±1 m，采用4M晶振，线性时间放大技术。常州莱赛公司研制了作用距离200m、测距精度0.5m的半导体激光测距机，2001年，兵总209所研制的半导体激光高度表，测程800米。