现有光束质量测试分析仪主要有三类，包括机械扫描法，CCD面阵探测器件[3]，基于夏克—哈特曼（Shack—Hartman）方法的仪器。利用CCD面阵探测器件的代表性光束质量检测仪有OPHIR Photonics公司的Spiricon LBA一710光束分析仪[4]、英国Extech公司的光束质量分析仪，Sensor Physics公司的光束分析仪,美国Big Sky公司的Beam View 分析仪。利用机械扫描法的代表性光束质量检测仪有美国Coherent(相干)公司的Mode Master 光束分析仪、THORLABS（索雷博）公司的扫描狭缝式光束质量分析仪。基于夏克—哈特曼方法的仪器有德国Carl Zeiss Jena(卡尔蔡司)公司所生产的的同类仪器。81680

1 基于机械扫描法的光束质量分析仪

    以THORLABS（索雷博）的BP200系列扫描狭缝式光束质量分析仪说一下国外基于机械扫描法的光束质量测试分析仪。

表1。1索雷博BP200系列扫描狭缝式光束质量分析仪

参数 值 参数 值

波长 200-1100nm 最小光束直径 2。5

探测器材料 Si-UV探测器 最大光束直径 9。5mm

孔径 9mm 扫描率 2。0—20。0Hz

扫描方式 扫描狭缝 采样分辨率 0。12-1。24（取决于扫描率）

功率范围 10nw-10w（取决于光束直径与模式） 放大器的带宽 每11步16-1000khz

该款型号的光束分析仪器实际上是一款外部光测量传感器，主要是针对自由空间应用的高斯光束而设计的，可以快速同步测量X和Y轴轮廓，不需要在光路中使用衰减器。 索雷博BP200系列扫描狭缝式光束质量分析仪论文网

但狭缝型光束质量分析仪对于操作人员一定的要求。入射光束，尤其是高发散光束，需要满足一些条件，即要求整个光束功率需通过入射孔径被狭缝扫描并且被光电二极管探测。为了满足上述条件，BP200扫描狭缝光束分析仪的操作者需要知道狭缝和光电二极管的的位置和距离，否则，有无操作失误会引起分析仪器的分析误差。

索雷博（THORLABS）的扫描狭缝式光束质量分析仪在9mm直径光束时有小于10%的误差，并且基于扫描法的光束质量分析仪一次只能扫描一个位置的光斑。

2 基于CCD面阵探测器的光束质量分析仪

    以OPHIR Photonics 的Spiricon基于相机的轮廓分析仪说一下国外基于CCD面阵探测器件的光束质量测试分析仪。

该款基于相机的光束分析仪(camara based beam profiling)系统的组成部分主要有三部分:相机，轮廓分析仪软件与衰减器，分析的版本为Beamgage，相机和衰减器的数量各为一个。 Spiricon 提供市场上最广泛的相机，涵盖波长13-3000nm。该系统具有极大的灵活性，它的灵活性在于USB插口以及FireWIRE插口适应了较大部分的波长，这些插口可适用于各种类型的电脑。

轮廓分析软件 BeamGage® 具有灵活性，目前几乎适应任何配置要求。Spiricon能够为光束轮廓分析供应各种类别各式各样类型丰富的附件，附件中包括的部件有衰减、光束放大、光束分束等等。 对应波长涵盖从深紫外到CO2波长。其实一大部分的组件是模块化的，所以，它们其实可以互相组合，适应多种情况，几乎满足所有的光束轮廓分析需求。