现今对光学零件表面粗糙度的测量方法主要分为两大类，即接触类和非接触类。接触类的典型仪器是英国Rank Taylor Hobson公司的Taylor Surf 和Nanosurf等系列轮廓仪，虽然接触式的测量方法具有很高的分辨率和很大的测量范围，但是它最致命的缺点是它会划伤被测表面，因此限制了它在光学零件表面粗糙度领域的应用。非接触类测量的典型方法主要分为光学散射法、光学探针法和干涉显微镜法。光学散射法虽然测量的速度快、仪器的结构比较简单，但是它测量的是被测表面的平均特性，所以不能给出表面的形貌。光学探针法由于受衍射效应和系统横向分辨率的限制，测量精度一般在微米量级，无法分辨微米以下的量级[15]。干涉显微镜法测量的精度高，操作方便，可以给出客观的表面粗糙度参数值。