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卷绕式真空镀膜机卷绕系统文献综述和参考文献(2)

时间:2021-08-10 21:12来源:毕业论文
[3] 丁学恭,蔡海涛,何 勇.宽幅薄膜高真空卷绕蒸发式镀膜机的研究与设计[ J].农业工程学报,2007,23( 8): 145- 149. [4] 邵文韫,王阳明. 真空镀膜机卷绕系统中张力

[3] 丁学恭,蔡海涛,何 勇.宽幅薄膜高真空卷绕蒸发式镀膜机的研究与设计[ J].农业工程学报,2007,23( 8): 145- 149. 

[4] 邵文韫,王阳明. 真空镀膜机卷绕系统中张力控制的研究[J]. 机床与液压,2004, 12(12): 123- 124.

[5] 邱英浩,曹晓明. 真空镀膜技术的现状及进展[ J]. 天津冶金,2004, 5( 5): 45- 48.

[6] 王银川. 真空镀膜技术的现状及发展[ J]. 现代仪器,2000,6(6): 1- 4.

[7] 蔡海涛.一种新型的幅宽1500mm的卷绕式真空镀膜机[M] .北京: 科学出版社.

[8] 戴乐山,戴道宣.近代物理实验[M].上海:复旦大学出版社.

[9] 李云奇. 真空镀膜技术与设备. 东北工学院出版社.

[10] 王福贞. 旋转磁控柱状弧源多弧离子镀膜机. 真空. 1997,( 2).

[11]  Michael Wright and Terry Beardow. J.Vac. Sci. Technol. A4(4), May/Jun1986, 388~ 392.

[12] TwinMag. The NewGenerationof Sputtering Technology. LEYBOLD(样本).

[13] M. Scherer, J. Schmitt, R. Latz,andM. Schanz, J. Vac. Sci. Technol A10(4), Jul/Aug 1992,

1772~ 1776.

[14] S. BeiBwenger, G. Brauer,W. Dickenand J. Szczybowski, Surface and Coating Technology,1993, (60)

624~ 628.

[15] IanStevenson, FrankZimone, Dale Morton. Process andconfiguration of vacuum coating system[J]. VacuumScience andTechnology, 2003, 23(6): 443- 448.

 


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