该传感器的优点是频率响应快以及量程范围大。无需添加阻尼液。

图2-3 电容式加速度传感器结构简图

2。1。4 应变式加速度传感器

应变式加速度传感器也是基于惯性原理，由于加速度的作用，质量块产生的惯性力，使悬臂梁产生应变，该应变的变化量通过粘贴于悬臂梁上的应变片的阻值变化获得。其结构如图2-4。

图2-4 应变式加速度传感器结构示意图来`自+优-尔^论:文,网www.youerw.com +QQ752018766-

比起压电式传感器，以往的应变式加速度传感器在性能上稍有欠缺。但随着应变式传感器各种结构和技术的不断改进，这种传感器的各方面性能得到了很大的提升。特别在固有频率、线性度、精度、稳定性等都达到了很高的水平。对于多维加速度传感器的设计，应变式测量原理在结构设计和加工手段上具有一定的优势。

终上所述，结合研究条件以及本课题传感器的应用场合，我决定采用应变式测量原理设计三维加速度传感器。

2。1。4 加速度传感器的力学分析[16]

1。 传感器等效力学模型[4]

采用惯性敏感元件的加速度传感器，当惯性质量块受到加速度作用产生惯性力时，弹性敏感元件发生相应应变。惯性力的大小与该应变存在着一定的比例关系。这里考虑一种单向测量情况，这时加速度传感器可以简化为如图2-5所示的一个系统，这个系统只有一个自由度，并且是线性系统。若假设待测物体的运动方程为