晶圆测试升降机构设计+文献综述(3)
时间:2018-03-03 21:12 来源:毕业论文 作者:毕业论文 点击:次
1．3 国内外发展概况与发展趋势 2 升降机构及其结构设计 2.1 引言 晶圆自动传输系统的主要功能是将晶圆平稳运输，包括片盒承载台、机械手转动台和晶圆测试台组成。在片盒承载台的设计中，分为升降机构、片盒加紧机构和片盒定位机构[15]，本文主要针对升降机构进行阐述。 2.2 升降机构的作用 在晶圆测试自动传输系统中，升降机构主要负责片盒承载台在竖直方向的上下移动，其定位通过电机来精确控制，初始定位由传感器确定，以此实现垂直方向的精确动作与位移，完成晶圆测试的各项需要[16]。晶圆的升降运动要保证机构的运动平稳快速，顺畅便捷，导轨的竖直导向精确误差小，并保持升降时承载台的稳定。升降机构的主要功能有： （1）能准确控制承载台沿着竖直方向的运动坐标位置并反馈回控制系统，对驱动装置进行设定与调整。 （2）将晶圆片稳定放置于承载台上，使其在升降运动中保持稳定与正常状态。 （3）使机构运动平稳，竖直导轨沿竖直方向顺畅运动，并能带动承载台在竖直方向的上下往复运动[17]。 2.3 升降机构的主要组成 升降机构的主要组成是升降台、导轨滑块、滚珠丝杠副、同步轮与同步皮带、电机、轴承[18]。结构示意图如图2.1所示。  1-载物芯片盒 2-步进电机 3-升降台 4-丝杠支撑座 5-滚珠丝杠 6-丝杠固定座 7-导轨 8-滑块 9-机架底座 图2.1升降机构总体结构示意图 2.4 升降机构的自由度 晶圆测试台的升降机构的主要功能是使用电机作为驱动装置，再通过传动带动滚珠丝杠进行旋转运动，带动丝杠的螺母在滑块的导向下沿着竖直方向进行晶圆片的传输[19]，对这一主要功能进行分析，该系统对水平方向的传送与转动没有要求，也没有转动的自由度，只存在竖直方向的一个自有度即使载物升降台上下移动的自由度。 2.5 设计要求根据所给定的原始数据 (责任编辑：qin) |