2。1 超高真空激活系统
超高真空激活系统主要由真空抽气系统、进样装置、激活室、样品传递结构、样品加热 装置以及样品激活装置组成[15]，
提高GaAs光电阴极稳定性的铯氧激活工艺研究(5):http://www.youerw.com/tongxin/lunwen_83591.html
2。1 超高真空激活系统
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