1。1。4  纳米结构氧化锌的物理性质 7

1。2  石墨烯 9

1。3  紫外光探测器 10

1。3。1  氧化锌纳米结构为基的紫外光探测器 11

1。3。2  紫外探测器的研究进展 11

1。4  本课题研究内容 12

2  实验 13

2。1  氧化锌纳米棒阵列的制备 13

2。1。1  实验试剂 13

2。1。2  实验仪器 13

2。1。3  氧化锌纳米棒阵列制备 14

2。2  材料结构和成分表征 15

2。2。1  X射线衍射（XRD）分析 15

2。2。2  扫描电镜（SEM）分析 15

2。2。3  透射电子显微镜（TEM）分析 15

2。2。4  拉曼光谱分析 16

2。2。5  光学显微镜分析 16

2。3  紫外探测器的制作及测试 16

2。3。1  紫外探测器的制作 16

2。3。2  紫外探测器的测试 17

3  实验结果与讨论 19

3。1  石墨烯的形貌及结构表征 19

3。1。1  石墨烯的表面形貌表征 19

3。1。2  石墨烯的结构表征 20源-于,优Y尔E论W文.网wwW.yOueRw.com 原文+QQ752018`766

3。2  原子层沉积制备籽晶层生长氧化锌纳米棒阵列 20

3。2。1  氧化锌纳米棒阵列的结构及形貌表征 20

3。2。2  紫外探测器的性能测试 23

3。3  热处理锌线后生长氧化锌纳米棒阵列 25

3。3。1  氧化锌纳米棒阵列的形貌及结构表征 25

3。3。2  紫外探测器的性能测试 26

3。4  紫外探测器的实用性展示 28

结论 29

致谢 30

参考文献 31

1  绪论

从1960年开始，氧化锌薄膜在制造传感器件、换能器件以及催化剂等方面的应用使氧化锌薄膜的应用成为一大热点。在随后的几十年间，一维材料的研究不断深入，由于表面和量子的限制所带来的尺寸上的减小和性能的提升，更多的氧化锌的纳米结构形态不断被发现及研究。纳米线、纳米管、纳米环等都通过一系列的手段成功合成，这些纳米结构都在电子运输，紫外发射以及气体传感等方面都有广泛的应用。本论文通过制备氧化锌纳米棒阵列并与石墨烯复合制成紫外探测器并测试其性能，旨在发挥两者在光电材料方面的长处，且引入柔性可穿戴概念，拓展未来在各领域的应用实践。

1。1  氧化锌