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感应淬火后零件的内应力很大，最高达588MPa，有时还要高，为防止裂纹和变形要及时回火，特别是炉中回火，一般规定淬火后的零件应在2h内进行回火处理。
表7.1几种常用钢感应加热表面淬火件炉中回火规范[13]
钢号 要求硬度（HRC） 淬火后硬度（HRC） 回火规范
温度/℃ 时间/min
45
40~45 ≥50 280~320 45~60
≥55 300~320 45~60
≥50 200~220 45~60
45~50 ≥55 200~250 45~60
50~55 ≥55 180~200 45~60
50 53~60 54~60 160~180 45~60
钢号 要求硬度（HRC） 淬火后硬度（HRC） 回火规范
温度/℃ 时间/min
40Cr 45~50 ≥50 240~260 45~60
≥55 260~280 45~60
42SiMn 45~50 220~250 45~60
50~55 180~220 45~60
15，20Cr
20CrMnTi
20CrMnMoV
（渗碳淬火后） 56~62 56~62 180~200 60~120
7.2 自行回火
圆柱形零件或其他形状简单的零件，在同时加热淬火后可自行回火。所谓自行回火是利用淬火冷却后，在零件的内部仍然保存的一部分热量，当这部分热量重新返回淬火层，十七升温并达到回火的效果，这种方式的回火称为自行回火。
感应加热、喷水淬火及自行回火过程零件表面温度的变化情况，如图7-1所示。其中ab段是加热过程的升温曲线；bcd为喷水冷却过程零件表面的温度曲线，到d时刻喷冷停止，零件表面开始升温，不过此时零件表面有水，升温过程是水的蒸发过程，表面文持100℃左右，到达e时刻水蒸发完了，表面开始迅速升温，到达ƒ点为最高值，最高温度一般可以文持几秒至十几秒，又开始降温，这时已经取得了回火效果。ƒ点所在温度称为“自行回火温度”。
自行回火与炉中回火比较，若使硬度降低相残余应力减少至相同水平，自行回火温度要比炉中回火温度高一些，见表7.2。
表 7.2达到同样硬度的自行回火温度与炉中回火温度比较[14]
平均硬度/HRC 回火温度/℃
炉中回火 自行回火
自行回火的温度测量，可以使用测温腊笔、或半导体点温针。一般在冷却结束后3-10 s内零件表面最高温度就是自行回火温度。
7.3 感应加热回火
感应加热回火也称为电回火。某些长轴或其他大型零件在感应加热连续淬火以后已经冷透，不能进行自行回火。如采用炉中回火，或是炉膛容纳不下，或是装炉数量太少，又因工艺时间太长，一般难以采用，这时多采用感应加热回火。欧美日等国近年生产的感应淬火自动线，为提高生产率，使回火与淬火同节拍进行，大都采用感应加热回火。
感应加热回火的频率应该比淬火时的频率低一些，以保证加热层足够和加热温度均匀。感应加热回火的频率选择见表7.3。