通过溅射偏角的变化可以在位控制Co-Zr薄膜的面内单轴各向异性和共振频率的大小。并且，面内单轴各向异性场和共振频率的大小随着溅射偏角的增加逐渐增大[9]。

1.5  本课题研究背景意义

    纵观人类科学的发明和应用历史，可以清楚地看到，每一种重要新材料的发现和应用都会把人类支配自然的能力提高到一个新的水平。在诸多新型材料中，磁性材料是国民经济各个领域不可缺少的功能材料，它不仅满足了传统工业的发展要求，而且在电子、信息、能源等新技术中也起着越来越重要的作用。随着科学技术的不断进步，磁性材料除不断提高现有材料的性能和质量外，必将会有新材料出现，以满足不断发展的电子技术的要求[10]。

近年来，过渡族金属-金属型(TM-M型)非晶态合金薄膜受到了广泛的重视，这主要是由于它具有较高的饱和磁化强度和较高的晶化温度及Curie温度，而同时又具有优良的软磁特性。高饱和磁化强度是制做高密度记录磁头所必需的，而高晶化温度及高Curie点可使材料具有较好的温度稳定性[11]。来~自^优尔论+文.网www.youerw.com/

    电磁污染问题的日趋严重，迫切需要研究能将无用和有害电磁能吸收或转换的方法。应用吸波材料是一种常用的抗电磁干扰方法，具有强各向异性的纳米磁性金属薄膜材料在微波频段具有高磁导率和大磁损耗，有望成为新一代吸波材料而倍受关注，二维纳米结构磁性薄膜微波物性研究越来越引起重视。

金属薄膜具有一定的导电性，当金属薄膜的厚度小于趋肤深度时，随着薄膜厚度的减小，电磁波的透射逐渐增强，金属薄膜才有可能对电磁波产生强烈的电磁响应。磁性金属在微波频率的趋肤深度一般在亚微米范围，因此，研究磁性金属薄膜的微波磁性一般要求其厚度在纳米范围。

Co100-xTMx(TM为Zr、Ti、Nb 等非磁性金属)磁性薄膜可在兆赫兹频段具有高磁导率，而Co100-yREy(RE=Nd、Pr、Dy、Tb等磁性稀土元素)磁性薄膜，当RE的摩尔分数较高(0.2＜y＜0.3)时，具有较高矫顽力、高垂直各向异性、较低的饱和磁化强度，适合用作磁记录介质。Co基合金一般具有高饱和磁化强度、低磁致伸缩系数等有利于提高高频磁导率的性能特征。稀土元素一般具有强弛豫特性，添加到薄膜材料中对其高频响应特性和损耗会产生重要影响[12]，且重稀土元素比轻稀土元素的作用效果更显著。

很多电子仪器和设备都需要使用高频软磁材料，通常为铁氧体或坡莫合金，其制作流程较长，工艺较为复杂。新型的功能材料--非晶材料具有许多一般晶态材料所不具有的卓越物理和化学特性[13]，生产工序较为简单。其中，Co 基非晶软磁材料是迄今发现的最优异的软磁材料之一，具有较高的磁导率、很低的矫顽力和损耗，良好的高频性能，可以做电子变压器、磁头等，不过Co 基非晶合金最好的特性还在于具有磁致伸缩为零的特性，可以制备性能很好磁屏蔽网罩[14]。因而，开发非晶态Co基高频软磁材料，对材料工业和电子工业的发展都具有重要的意义。